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光学高温计和使用该光学高温计处理半导体的设备制造技术
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文档序号:8980216
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本发明提供了一种光学高温计和一种使用该光学高温计处理半导体的设备,所述光学高温计包括:具有接收端的接收部,接收端用于接收加热单元的光辐射;和壳部,覆盖除接收部的接收端以外的接收部,其中,接收部的接收端的与接收部的接收端的纵向垂直的截面的面积...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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