【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS麦克风，包括线路板和MEMS声电芯片，所述MEMS声电芯片包括基底，其特征在于，MEMS麦克风还包括声孔单元和通道，所述声孔单元包括进声孔和至少两个MEMS声电芯片上的振膜背洞声孔；所述进声孔和所述振膜背洞声孔之间通过所述通道连通；所述通道设置在所述基底上；所述MEMS声电芯片为由至少两个以上的芯片组成的芯片整体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡孟锦，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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