基于PID自适应的控制装置、控制方法及应用其的机器人制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于PID自适应的控制装置、控制方法及应用其的机器人，该控制装置，包括DSP电机采集与控制器及采集卡；DSP电机采集与控制器作为电机采集与控制的设备，实现对电机速度反馈信号的采样；采集卡，与DSP电机采集与控制器之间，是通过CAN总线进行通信。本发明专利技术的控制方法，采取自适应的PID参数对电机转速进行调节，PID参数中比例环节与积分和微分环节分别调整。与习用相比，本发明专利技术具有以下优点：快速：由于两电机采用比例环节，且其参数设置以实际输出与期望输出的差值为参考进行设计，可快速减小两电机的不同步；稳定：调节后，两个机械手臂不存在抖动现象；鲁棒性好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及伺服传动装置的控制
，具体地讲，是指一种基于PID自适应的控制装置、控制方法及应用其的机器人，其适用于硅片传输机械手的两手臂同步控制。
技术介绍
洁净机器人是一种应用于集成电路制造业，用于硅片在生产线上不同的工艺加工模块之间进行高效传输和定位的专用机器人。由于硅片比较薄并且易碎，硅片传输过程中，任何轻微的震动都可能对硅片造成损坏，这就对洁净机器人机械手臂在运行过程中的平稳性提出了较高要求。在各种洁净机器人当中有一种frog-leg型真空机械手，其形状和机械特性类似于青蛙的腿，有两个手臂，分别由两个电机对其控制。由于机械摩擦、机构设计、使用材料等因素的影响，两个手臂的机械特性不可能完全相同。当同时对两个电机施加相同的控制作用时，两个手臂的运行可能会出现不同步的情况，导致手臂末端托盘出现抖动，甚至会滑落损坏硅片。如何减小frog-leg型真空机械手运行过程中的不同步性、减小机械手抖动成为硅片传输机械手研制的关键问题。frog-leg型真空机械手两个手臂之间运动特性有强耦合性，即一个手臂的运动会给另一个手臂施加一定大小的力，它们之间有相互作用。在现有的技术中，文献名为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于PID自适应的控制装置，其特征在于：其包括：DSP电机采集与控制器及采集卡；所述的DSP电机采集与控制器作为电机采集与控制的设备，有两路A/D，实现对电机速度反馈信号的采样；所述的采集卡，与DSP电机采集与控制器之间，是通过CAN总线进行通信。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贾凯，曲道奎，徐方，邹风山，宋吉来，甘戈，陈守良，刘晓帆，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：