一种基于石墨烯波导结构的太赫兹调制放大器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于石墨烯波导结构的太赫兹调制放大器，涉及调制放大器技术领域。包括衬底、波导芯层、两个欧姆接触电极、石墨烯层和绝缘介质层，所述波导芯层位于所述衬底上表面的中部，所述波导芯层的上面和左右侧面设有两个以上石墨烯层，每相邻的两个石墨烯层之间使用绝缘介质层进行电学隔离，两个欧姆接触电极位于所述波导芯层左右两侧的衬底上，最上层石墨烯层和最下层石墨烯层通过欧姆接触电极分别与正负电压相连。所述调制放大器可以实现对THz波的调制，同时实现对THz波的放大。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及调制放大器
，尤其涉及一种基于石墨烯波导结构的太赫兹调制放大器。
技术介绍
太赫兹波(THz)介于微波与红外波之间，被称为“太赫兹空隙”，在短距离无线通信、生物传感、医疗诊断、材料特性光谱检测以及非破坏式探测等方面均具有潜在的应用，其独特的优越性已普遍被认识。推动THz技术进一步的发展和实际应用，不仅需要很好地解决可靠稳定的THz源、高灵敏高信噪比的THz探测器，同时还需要提供高性能、高集成度、廉价的太赫兹功能器件，如THz调制、开关、滤波、分束、偏振等新型功能器件。然而，与微波和光波段不同，绝大多数自然物质对太赫兹波缺乏有效响应，已有电子器件和光学器件也很难直接对太赫兹传输进行控制。因此，目前一个很大的瓶颈问题是缺乏有效的材料和器件来操控太赫兹波，这严重制约了太赫兹技术向实用化方向发展，成为太赫兹领域亟待解决的关键问题之一。在未来THz应用中，宽带高速，小型化且调制效率高的THz调制器是必不可少的。科技工作者一直在通过寻找新型材料，设计新型器件结构来实现对太赫兹波的调制，以满足未来太赫兹测量系统和太赫兹通信发展的需要。目前国际上对THz调制器的研究工作主要集中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于石墨烯波导结构的太赫兹调制放大器，其特征在于包括衬底（1）、波导芯层（2）、两个欧姆接触电极（3）、石墨烯层（4）和绝缘介质层（5），所述波导芯层（2）位于所述衬底（1）上表面的中部，所述波导芯层（2）的上面和左右侧面设有两个以上石墨烯层（4），每相邻的两个石墨烯层（4）之间使用绝缘介质层（5）进行电学隔离，两个欧姆接触电极（3）位于所述波导芯层（2）左右两侧的衬底（1）上，最上层石墨烯层和最下层石墨烯层分别与一个欧姆接触电极相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊龙，冯志红，邢东，梁士雄，张立森，蔚翠，杨大宝，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：