基于复合周期结构的平面双波段表面等离激元波导制造技术

本发明专利技术公开了一种基于复合周期结构的平面双波段表面等离激元波导，包括印制在柔性介质上的、相切连接的复合周期直金属光栅结构和复合周期圆弧金属光栅结构，所述复合周期直金属光栅结构和复合周期圆弧金属光栅结构的相同一侧交错设置有一排深凹槽A和浅凹槽B；所述复合周期直金属光栅结构和复合周期圆弧金属光栅结构其中一个作为波导的输入端、另一个作为波导的输出端，所述输入端的前侧设置有金属导线，所述金属导线作为馈源用于激励输入端上的双波段表面波。本发明专利技术提供的波导，首次在微波段实现基于基于复合周期结构的超薄柔性薄膜的等离子直波导和弯波导，构简单、制作方便，能够适应微波段使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种波导结构，尤其涉及一种印制在柔性超薄介质薄膜上的、厚度接近于零的、基于复合周期结构的平面双波段表面等离激元波导，属于通信、集成电路和表面波

技术介绍
人工表面等离子激元不受衍射极限的限制，因而可用于构造小型化器件，在表面技术以及集成电路等方面有重要应用。现有的人工表面等离激元波导，是采用有限厚的单周期结构，不利于集成和小型化。我们利用一种简单的方法，通过在超薄金属表面上设计凹槽深度交替出现的复合周期光栅结构来传输双波段表面等离激元。同时，通过调整深凹槽和浅凹槽的深度，改变双波段的传输频率。该类器件加工方便，易于集成，弯曲损耗小，且在两个波段内都具有较高传输效率。
技术实现思路
专利技术目的:为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种印制在柔性超薄介质薄膜上的、厚度接近于零的、基于复合周期结构的平面双波段表面等离激元波导。技术方案:为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案为:基于复合周期结构的平面双波段表面等离激元波导，包括印制在柔性介质上的、相切连接的复合周期直金属光栅结构和复合周期圆弧金属光栅结构，所述复合周期直金属光栅结构和复合周期圆弧金属光栅结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于复合周期结构的平面双波段表面等离激元波导，其特征在于：包括印制在柔性介质上的、相切连接的复合周期直金属光栅结构（1）和复合周期圆弧金属光栅结构（2），所述复合周期直金属光栅结构（1）和复合周期圆弧金属光栅结构（2）的相同一侧交错设置有一排深凹槽A和浅凹槽B；所述复合周期直金属光栅结构（1）和复合周期圆弧金属光栅结构（2）其中一个作为波导的输入端、另一个作为波导的输出端，所述输入端的前侧设置有金属导线（3），所述金属导线（3）作为馈源用于激励输入端上的双波段表面波；所述复合周期直金属光栅结构（1）用于实现双波段表面波的直线传播，所述复合周期圆弧金属光栅结构（2）用于实现双波段表面波的曲线传播...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：崔铁军，高喜，马慧锋，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：