一种光波导及其加工方法技术

技术编号：8764542 阅读：350 留言：0更新日期：2013-06-07 20:52

一种光波导及其加工方法。提供了一种在满足高保真、高效率信号传输的前提下，芯片薄，工艺条件友好，加工成本更低的光波导及其加工方法。包括基底上开设的倒梯形沟槽，在沟槽底部设有芯体层，所述芯体层的上部设有覆盖层。在所述基底的顶面以及沟槽的表面上设有抑制层。本发明专利技术的加工方法，依次包括覆膜、涂胶光刻、腐蚀窗口内覆膜层和蚀刻基底沟槽工序，然后按以下步骤加工：1）烧结芯体层；在沟槽底部填充玻璃粉一，烧结，冷却，得芯体层；2）烧结覆盖层；在沟槽下部芯体层的顶面填充玻璃粉二，烧结，冷却，得覆盖层。本发明专利技术有效降低光器件的生产成本、提高可靠性、改善光传输性能；加快普及宽带以及FTTx建设；推进社会信息化进步。