【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种玻璃基板的研磨装置,特别是涉及一种有关液晶 显示器或电浆显示器、有机电激发光显示器等平面显示器用玻璃基板的外 部机械研磨装置。
技术介绍
液晶显示器或电浆显示器等平面显示器(FPD),为广泛使用于电脑显示 装置或TV显像器用、行动电话显示部用等各种电子机器。最近还进行有为 了自发光,而不需背光的高速反应性优良的有机EL显示器开发,且未来受 到期望。此种FPD所要求的课题之一,就是薄型化。薄型化是伴随其所装载的 电子机器的薄型化或小型化、轻量化而要求的。例如笔记型电脑或行动电 话中,为要求更加薄型化或轻量化,随之FPD也要求更薄更轻量。作为FPD的薄型化或轻量化的重要要素就是玻璃基板。不论液晶显示 器、电浆显示器、或是有机EL显示器,都采用黏贴一对基板,在其内面配 置元件与电极的构造。玻璃比重较重,又有确保机械性强度的必要性,故必 须有一定程度的厚度。因此,玻璃基板的存在对于FPD的薄型化或轻量化 会造成阻碍。许多FPD制造工程中,为采用从较大的一对玻璃基板中生产多数FPD 的工法, 一对玻璃基板为依所生产的各FPD用途,在各区域分别形成元件 电极, ...
【技术保护点】
一种平面显示器用玻璃基板的外部机械研磨装置,其特征在于其包括: 一处理室(20); 一基板保持具(30),该基板保持具(30)夹持上述玻璃基板(10)设置在处理室(20)内; 多个喷嘴(40),该喷嘴(40)具有喷射孔(4 1),该喷射孔(41),向着被上述基板保持具(30)夹持的上述玻璃基板(10)的外表面,喷出溶出上述玻璃基板(10)外表面材料的溶出液(L); 一溶出液供给系统(50),对上述该些喷嘴(40)供给附加有本身重量所造成的加速度的溶出液( L);以及 一移动机构,承载上述玻璃基板(10),且相对于喷嘴(40)的喷射孔(41)移动。
【技术特征摘要】
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