玻璃基板表面积光量的检测装置制造方法及图纸

技术编号:8896528 阅读:169 留言:0更新日期:2013-07-09 00:36
本实用新型专利技术涉及一种玻璃基板表面积光量的检测装置,其特点是:包括传送机构(6),在该传送机构(6)上设有一铝板(5),在该铝板(5)中间开有一通孔,在该通孔内安装有紫外线传感器(4)。采用本实用新型专利技术的检测装置后,检测到的数据很准确,能确切的判断出基板实际接收到的有效照射量,从而可以通过有效地进行监控、调整来提高玻璃基板良品率。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种玻璃基板表面积光量的检测装置
技术介绍
在显示设备制造过程中,玻璃基板在进行制程工艺之前都必须经过紫外线清洗机进行清洗,紫外线清洗机通过紫外线灯管的网状电极施加高压交流电,在内部合成石英玻璃(电离层)之间形成等离子状态,形成电离后放电气体氙原子被激发时瞬间转换为激态准分子状态,激态准分子状态转换为原来状态时发出172纳米的真空紫外线;制程气体(主要成分:氮气和氧气)中的氧气吸收受激紫外线灯发射的172纳米的紫外线生成氧自由基和臭氧,172纳米的紫外线同时破坏玻璃基板上有机(碳氢化合物)的分子结构,氧自由基与分解后的有机物结合,生成水、二氧化碳、一氧化碳等挥发性气体,从而达到去除有机物清洗基板的目的。紫外线清洗机对于基板表面上的有机薄膜具有清洗作用,但如果照射条件高于基板表面有机薄膜可承受的程度,那紫外线清洗机将会对基板表面有机薄膜造成损坏。因此需要对紫外线清洗机照射强度进行监控。目前在显示设备制造领域,例如TFT (薄膜场效应晶体管)IXD、LTPS (低温多晶硅)、OLED (有机发光二极管)生产线上,应用于生产线上的紫外线清洗机照射时,涉及(玻璃)基板表面积光量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板表面积光量的检测装置,其特征在于:包括传送机构(6),在该传送机构(6)上设有一铝板(5),在该铝板(5)中间开有一通孔,在该通孔内安装有紫外线传感器(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:史祥
申请(专利权)人:彩虹佛山平板显示有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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