玻璃基板表面积光量的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种玻璃基板表面积光量的检测装置，其特点是：包括传送机构(6)，在该传送机构(6)上设有一铝板(5)，在该铝板(5)中间开有一通孔，在该通孔内安装有紫外线传感器(4)。采用本实用新型专利技术的检测装置后，检测到的数据很准确，能确切的判断出基板实际接收到的有效照射量，从而可以通过有效地进行监控、调整来提高玻璃基板良品率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种玻璃基板表面积光量的检测装置。
技术介绍
在显示设备制造过程中，玻璃基板在进行制程工艺之前都必须经过紫外线清洗机进行清洗，紫外线清洗机通过紫外线灯管的网状电极施加高压交流电，在内部合成石英玻璃(电离层)之间形成等离子状态，形成电离后放电气体氙原子被激发时瞬间转换为激态准分子状态，激态准分子状态转换为原来状态时发出172纳米的真空紫外线；制程气体(主要成分:氮气和氧气)中的氧气吸收受激紫外线灯发射的172纳米的紫外线生成氧自由基和臭氧，172纳米的紫外线同时破坏玻璃基板上有机(碳氢化合物)的分子结构，氧自由基与分解后的有机物结合，生成水、二氧化碳、一氧化碳等挥发性气体，从而达到去除有机物清洗基板的目的。紫外线清洗机对于基板表面上的有机薄膜具有清洗作用，但如果照射条件高于基板表面有机薄膜可承受的程度，那紫外线清洗机将会对基板表面有机薄膜造成损坏。因此需要对紫外线清洗机照射强度进行监控。目前在显示设备制造领域，例如TFT (薄膜场效应晶体管)IXD、LTPS (低温多晶硅)、OLED (有机发光二极管)生产线上，应用于生产线上的紫外线清洗机照射时，涉及(玻璃)基板表面积光量的检测。一般情况下由于紫外线清洗机与玻璃基板表面距离很近，普通照度计无法放置，所以只能进行灯管表面照度检测而不能进行基板表面积光量的检测。这样检测的数据不是很准确，无法判断出基板实际接收到的有效照射量。另外由于172纳米紫外线具有腐蚀性，当照度如果过高时，将会造成基板表面有机膜的损坏。当照度过低时，又会造成基板清洁不够干净，导致后续工艺出现异物不良。照度高低直接影响到整个工序的良品率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种玻璃基板表面积光量的检测装置，能够准确检测紫外线灯管的照射强度。一种玻璃基板表面积光量的检测装置，其特别之处在于:包括传送机构，在该传送机构上设有一铝板，在该铝板中间开有一通孔，在该通孔内安装有紫外线传感器。其中传送机构为滚轴传送机或滚轮传送机。其中紫外线传感器的探头与铝板上表面平齐。采用本技术的检测装置后，检测到的数据很准确，能确切的判断出基板实际接收到的有效照射量，从而可以通过有效地进行监控、调整来提高玻璃基板良品率。附图说明附图1为本技术的结构示意图。具体实施方式如图1所不,一种玻璃基板表面积光量的检测装置,包括传送机构6,传送机构6可以采用滚轴或滚轮传送机，在该传送机构6上设有一铝板5，在该铝板5中间开有一通孔，在该通孔内安装有紫外线传感器4，紫外线传感器4的探头与铝板5上表面(按图1中方向)平齐，当然也可以略低。本技术的使用方法及工作原理如下:如图1所示，紫外线清洗机I安装在上部，紫外线清洗机I下部安装紫外线灯管2。紫外线传感器4连接在铝板5上，其探头顶部与铝板5上表面水平，而紫外线传感器4的其它部分则置于铝板5下。使用时玻璃基板3放置于铝板5之上，紫外线灯管2距离玻璃基板3为2.5 3.5_。铝板5放置在滚轴或滚轮传送机上，紫外线传感器4放置于相邻2个滚轴或滚轮间隙之内，滚轴或滚轮之间的间距为100mm。滚轴或滚轮运动带动铝板5和玻璃基板3运动，通过紫外线清洗机1，同时紫外线传感器4的探头记录紫外线灯管2照射强度。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，任何所属
的技术人员，在不脱离本技术之精神的范围内，可作一些更动与改进，因此本技术之保护范围当以权利要求为准。权利要求1.一种玻璃基板表面积光量的检测装置,其特征在于:包括传送机构(6),在该传送机构(6)上设有一铝板(5)，在该铝板(5)中间开有一通孔，在该通孔内安装有紫外线传感器⑷。2.如权利要求1所述的玻璃基板表面积光量的检测装置，其特征在于:其中传送机构(6)为滚轴传送机或滚轮传送机。3.如权利要求1或2所述的玻璃基板表面积光量的检测装置，其特征在于:其中紫外线传感器(4)的探头与铝板(5)上表面平齐。专利摘要本技术涉及一种玻璃基板表面积光量的检测装置，其特点是包括传送机构(6)，在该传送机构(6)上设有一铝板(5)，在该铝板(5)中间开有一通孔，在该通孔内安装有紫外线传感器(4)。采用本技术的检测装置后，检测到的数据很准确，能确切的判断出基板实际接收到的有效照射量，从而可以通过有效地进行监控、调整来提高玻璃基板良品率。文档编号G01J1/00GK203037348SQ20122066062公开日2013年7月3日 申请日期2012年12月4日 优先权日2012年12月4日专利技术者史祥 申请人:彩虹(佛山)平板显示有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板表面积光量的检测装置，其特征在于：包括传送机构(6)，在该传送机构(6)上设有一铝板(5)，在该铝板(5)中间开有一通孔，在该通孔内安装有紫外线传感器(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：史祥，
申请(专利权)人：彩虹佛山平板显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：