多晶硅芯酸洗连体槽制造技术

一种多晶硅芯酸洗连体槽，其包括主槽、副槽。主槽设于副槽腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体。主槽外壁与副槽的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有矩形溢流口，主、副槽之间还联通有可冷却主槽内的药液的冷却系统。本实用新型专利技术将原本处于主槽之外的副槽合二为一，使得结构简单，具有良好的稳定性，安全性和效率。通用于各种多晶硅材料的化学处理设备中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各功能优势互补，互不干涉，以便达到最好的处理效果。在满足顾客的功能需求的同时，提高了安全性能。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅料、硅芯、电池片等材料的酸洗处理设备，尤其涉及一种多晶硅料、硅芯等材料的酸洗连体槽。
技术介绍
在硅料、电池片的化学处理过程中，为保证产品质量，需要严格控制工艺条件，尤其是对于酸洗设备。由于使用的是高腐蚀、高挥发性的HF、HN03，所以必须防止因化学液体和气体泄露，对人体和环境造成危害和污染。而加工过程中，槽体须接触温差变化较大的环境，对于槽体本身的要求也比较高。零部件接口过多或者循环运输管道过长均会影响工艺条件的稳定性、增加设备损耗、和化学品泄露的风险。因此，设备运行的稳定性、安全性以及工作效率的提高是急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术是要解决上述技术问题，提出了一种具有高效、稳定、安全的结构简单化的多晶硅芯酸洗连体槽。本技术提出的多晶硅芯酸洗连体槽，其包括主槽、副槽。主槽设于副槽腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体；所述主槽外壁与副槽的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有矩形溢流口，所述主、副槽之间还联通有可冷却主槽内的药液的冷却系统。较优的，所述的冷却系统包括:设于所述主槽内底部的输液管、联通该输液管和所述副槽的药液循环管、与该药液循环管串接的热交换器、控制阀及循环磁力泵并接于热交换器和副槽之间。较优的，所述的主槽内还设有与一控制器连接的测温探头，所述的循环磁力泵与该控制器连接。较优的，所述的主槽内还设有与所述控制器连接的第一浮球式液位开关，所述的副槽与自动供酸机联通。较优的，所述的主槽壁体上设有主槽抽风口连接外部的抽风系统。较优的，所述的副槽壁体上设有副槽抽风口连接外部的抽风系统。较优的，所述副槽的底部还装有与外部相连的快排阀。本技术有着矩形溢流和快排的功能，具有强大的处理能力。本技术将原本处于主槽之外的副槽合二为一，不仅在保证功能完整性的同时使结构简单化，而且减少了主槽和副槽之间的循环传输系统，直接通过主槽的溢流口实现了主、副槽之间的液体输送。整体性的加强增加了槽体酸洗的稳定性和安全性，提高了效率。部件和机构的减少也实现了材料上的节约。以下结合附图和实施例对本技术做出详细的说明，其中:附图说明图1为本技术优选实施例的横向剖视图；图2为本技术优选实施例的纵向剖视图。具体实施方式图1和图2示出了本技术优选实施例的基本结构，所述的多晶硅芯酸洗连体槽，包括主槽1、副槽6。主槽I连接于副槽6腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体。主槽I的外壁与副槽6的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有矩形的溢流口 2(也可以设置成波浪状的溢流口)。主、副槽之间还联通有可冷却主槽I内的药液的冷却系统。本实施例中，冷却系统包括:设于主槽I内底部的输液管7、联通该输液管和副槽6的药液循环管8、与该药液循环管串接的在线式的热交换器9，还有控制阀11和循环磁力泵10并接于热交换器9和副槽6之间。主槽I内还设有与一控制器(未示出)连接的测温探头4，循环磁力泵10与该控制器连接。主槽I内还设有与控制器连接的第一浮球式液位开关5，副槽6与外部的自动供酸机(配制药液的设备)联通。副槽6内还设有与控制器连接的:高液位浮球式液位开关12和低液位浮球式液位开关13以及液位检测仪14。主槽I壁体上设有主槽抽风口 20连接外部的抽风系统。副槽6壁体上设有副槽抽风口 21连接外部的抽风系统。副槽6的底部还装有与外部联通的快排阀22。参见图1和图2，处理多晶硅芯时，将装有多晶硅芯的清洗篮放在盛有化学处理药液的处理主槽I内。清洗多晶硅芯时可以对整个系统进行自动化控制。如，当主槽I内药液反应温度过高时，测温探头4将电讯号传给控制器，控制器接到信号后发出指令传到循环磁力泵10，循环磁力泵10开始将副槽6中的药液输送给在线式热交换器9进行降温处理,再通过药液循环管8和输液管7输送到主槽I内的下方，主槽I内上方的药液通过溢流口 2流入副槽6内，如此循环，从而实现主槽I内药液的温度调整。参见图1，当主槽I中的处理多晶硅芯的药液浓度不足或者药液液面高度不够时，第一浮球式液位开关5通过控制器启动循环磁力泵10运转，将储存在副槽6的药液通过药液循环管道8和输液管7抽入主槽I中，如此循环，从而实现主槽I内药液浓度或者药液量的调整。副槽6内的高液位浮球式液位开关12和低液位浮球式液位开关13通过控制器控制自动供酸机自动补充副槽6内药液的量。主槽和副槽直接通过溢流口实现酸液传输，而且矩形溢流口增加了酸液的溢流面积，更有利于酸液的冷却。在循环的过程中抽风系统将不断地抽取主槽I内和副槽6内的酸性气体。而快排阀22为酸液的更换带来了方便。本技术结构简单，具有良好的稳定性，安全性和效率。通用于各种多晶硅材料的化学处理设备中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各功能优势互补，互不干涉，以便达到最好的处理效果。在满足顾客的功能需求的同时，提高了安全性能。以上结合较佳实施方式对本技术进行了具体描述，但是本
内的技术人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本技术保护的范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅芯酸洗连体槽，包括主槽（1）、副槽（6），其特征在于，所述的主槽（1）设于副槽（6）腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体；所述主槽（1）外壁与副槽（6）的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有矩形溢流口（2），所述主、副槽之间还联通有可冷却主槽（1）内的药液的冷却系统。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅芯酸洗连体槽，包括主槽(I)、副槽(6)，其特征在于，所述的主槽(I)设于副槽(6)腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体；所述主槽(I)外壁与副槽(6)的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有矩形溢流口(2)，所述主、副槽之间还联通有可冷却主槽(I)内的药液的冷却系统。2.如权利要求1所述的多晶硅芯酸洗连体槽，其特征在于，所述的冷却系统包括设于所述主槽(I)内底部的输液管(7)、联通该输液管和所述副槽(6)的药液循环管(8)、与该药液循环管串接的热交换器(9)，控制阀(11)及循环磁力泵(10)并接于热交换器(9)和副槽(6)之间。3.如权利要求2所述的多晶硅芯酸洗连体槽，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：