槽体排泡装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术系一种槽体排泡装置与方法，于涂布制程中，其涂布装置中设置一药液储存之槽体，该槽体可藉由复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置，且该网状滤泡装置可有效阻隔拦截药液中的气泡，使流出槽体之药液具有最佳无泡稳定之特性；且藉由隔板个数增加设置，而使药液的流动路径增长，来强化药液之排泡效果；再藉由该药液入口及该药液出口皆设置于该槽体之底部，亦可减少药液流动时之扰动，以降低气体混入形成气泡之机会。

【技术实现步骤摘要】
槽体排泡装置与方法
本专利技术是有关槽体排泡装置与方法，尤指一种于涂布制程中，其涂布装置中设置一药液储存的槽体，该槽体可通过复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置，且该网状滤泡装置可有效阻隔拦截药液中的气泡，使流出槽体的药液具有最佳无泡稳定的特性。
技术介绍
习知半导体药液的滤泡装置多设于生产机台内部，例如：光阻涂布机、显影机及湿式蚀刻机的装置，若需更换药液时，必先停机更换后，再经过一定程序将药液内的气泡完全排除，该排泡过程必须花费数个小时的时间，方能将药液内的气泡完全排出。若药液的气泡未完全排出时，气泡将直接附着于产品上,将对制程造成负面影响降低产品良率，而造成的影响包括有：残影（Mura）、水印（WaterMark）、针孔（PinHole）及种种相关受气泡影响而造成反应不全（例如：显影不全、蚀刻不全）的缺陷，造成产品良率大幅降低，而有待从事此行业者加以解决。
技术实现思路
基于解决以上所述习知技术的缺失，本专利技术为一种槽体排泡装置与方法，本专利技术的主要目的于涂布制程中，其涂布装置中设置一药液储存的槽体，该槽体可通过复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置，且该网状滤泡装置可有效阻隔拦截药液中的气泡，使流出槽体的药液具有最佳无泡稳定特性的功能。本专利技术的另一目的在于通过隔板个数增加设置，而使药液的流动路径增加，来增加药液的排泡机会，达成排泡效果。本专利技术的再一目的在于通过该药液入口及该药液出口皆设置于该槽体的底部，以减少药液流动时的扰动，以降低气体混入形成气泡的机会。为达上述目的，本专利技术为一种槽体排泡装置，用以滤泡含有气泡的药液，其包括有：一槽体，为一具有腔室的箱体，而其腔室用以承装药液，具有一药液入口及一药液出口，且于药液上表面具有一空间；以及复数个隔板，设置于该槽体中，使槽体内成一规则流道，该些复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置。较佳者，该槽体还设置有一排气装置，且该排气装置设置于槽体空间的位置。较佳者，该排气装置可为自然排气装置或强制排气装置。较佳者，该自然排气装置为一孔洞。较佳者，该强制排气装置为一风扇马达。较佳者，该网状滤泡装置为复数个六角形蜂槽状孔洞所构成。较佳者，该网状滤泡装置为任意多边形、多角形或圆形孔洞所构成。较佳者，该网状滤泡装置为一海绵体所构成。较佳者，该网状滤泡装置的孔洞的孔径，可设计不同大小，或多重设置，以配合相关药液特性。为靠近该药液入口较大，且靠近该药液出口较小。较佳者，该网状滤泡装置具有一厚度。较佳者，该药液入口及该药液出口皆设置于该槽体的底部。较佳者，该药液指一光阻药液或为其他工业用药液。较佳者，该药液出口流出药液可通过一循环回收装置加以回收。为达上述目的，本专利技术为一种槽体排泡方法，其包括有：提供一槽体，该槽体内设置有具有复数个孔洞的复数个隔板以形成一预设流道；将药液由该槽体的一药液入口注入形成一槽体液体平面，该槽体液体平面高于该药液入口且低于槽体高度，使药液在槽体内依循该预设流道流动；利用该复数个孔洞来吸附在该预设流道流动的药液中的气泡，以使复数个气泡聚集于该复数个孔洞达一定程度后向上移动到该槽体的液面高度以排出气泡完成排泡处理；以及将已经由排泡处理的药液由一药液出口排出。为进一步对本专利技术有更深入的说明，乃通过以下图示、图号说明及专利技术详细说明。附图说明图1为本专利技术槽体排泡装置的俯视剖面结构示意图；图2A为本专利技术槽体排泡装置的正视剖面结构示意图；图2B为本专利技术槽体排泡装置的俯视流道示意图；图3为本专利技术单一隔板的结构示意图；图4为本专利技术隔板的网状滤泡装置的放大结构示意图；图5为本专利技术隔板的网状滤泡装置采用不规则孔洞结构之第一实施例图；图6为本专利技术隔板的网状滤泡装置采用不规则孔洞结构之第二实施例图；图7为本专利技术隔板的网状滤泡装置采用不规则孔洞结构之第三实施例图；图8为本专利技术槽体的底部可为一不平坦的斜面的实施结构示意图；图9为本专利技术的槽体排泡方法的流程图。附图标记说明：L1～流道长度L2～液面高度L3～槽体高度1～槽体11～药液入口12～药液出口13～空间2～隔板21～网状滤泡装置211～六角形蜂槽状孔洞212～第一不规则状孔洞213～第二不规则状孔洞214～第三不规则状孔洞3～药液41～底部不规则的槽体42～不规则孔洞的隔板51～提供一槽体，该槽体内设置有具有复数个孔洞的复数个隔板以形成一预设流道52～将药液由该槽体的一药液入口注入形成一槽体液体平面，该槽体液体平面高于该药液入口且低于槽体高度，使药液在槽体内依循该预设流道流动53～利用该复数个孔洞来吸附在该预设流道流动的药液中的气泡，以使复数个气泡聚集于该复数个孔洞达一定程度后向上移动到该槽体的液面高度以排出气泡完成排泡处理54～将已经由排泡处理的药液由一药液出口排出。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本专利技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本专利技术的限定。请参阅图1、图2A所示，为本专利技术槽体排泡装置的俯视与正视剖面结构示意图，其中槽体排泡装置用以过滤含有气泡的药液，该药液指一光阻药液或为其他工业用药液，其包括有：一槽体1，为一具有腔室的箱体，该槽体1内形成一规则的流道，图2B中揭露槽体1的流道长度为L1；液面高度为L2（如图2A）；槽体高度为L3（如图2A）。该流道长度L1至少大于槽体长度L3的1.5倍，且此流道长度L1可依药液黏度与槽体1外型做变更，使药液在同样槽体1可走更长的距离，也意味滞留时间较久，槽体1的底部可为一不平坦的斜面，亦具有增加药液流动距离的效果，而其腔室用以承装药液3，具有一药液入口11及一药液出口12，该药液入口11及该药液出口12皆设置于该槽体1的底部，但是药液出口12可在上也可在下，本专利技术不以此自限，以减少扰流现象，该药液出口12流出药液3可通过一循环回收装置（图中未示）加以回收，且于药液3上表面具有一空间13（即为L3减去L2的空间）；复数个隔板2，设置于该槽体1中，使槽体1内成一规则流道，该些复数隔板2上至少设置有一网状滤泡装置21，而通过隔板2的个数增加设置，而使药液3的流动路径增加，有效提高表面增加气泡成核成长的机率，以利于排出药液3中的气泡且可规则控制流体气泡，来强化药液3的排泡效果。上述该槽体1还设置有一排气装置（图中未示），且该排气装置设置于槽体1空间的位置，该排气装置可为自然排气装置（图中未示）或强制排气装置（图中未示），该自然排气装置为一孔洞；该强制排气装置为一风扇马达。请参阅图3、图4所示，为本专利技术单一隔板的结构示意图及隔板的网状滤泡装置的放大结构示意图，其中一隔板2上所设置一网状滤泡装置21，该网状滤泡装置21具有一厚度，通过该厚度来增加气泡吸附的面积，而隔板2可为多层式隔版或单层隔版所构成，但具有一定(孔洞)厚度，且每层的孔径可为单一孔径，亦可为交错排列大小不一的孔径，该网状滤泡装置21为复数个六角形蜂槽状孔洞211所构成；该网状滤泡装置21可设计为一海绵体（图中未示）所构成，利于数个气泡聚集于网状滤泡装置21，此因气泡将受阻于蜂巢壁(降低气泡表面能量)，增加数个泡泡于此过滤装置汇集的机会。泡泡汇集之后将进一步降低能量来成长(气泡数目降低，单一气泡体积增加)，气泡成核的原理为表面能量降低，呈一自然趋势所形成，体积增加后受较大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种槽体排泡装置，用以去除含有气泡之药液，其特征在于，其系包括有：一槽体，具有一中空腔室用以承装药液以形成一液体平面；一药液入口及一药液出口；以及复数个隔板，间隔排列设置于该槽体中，其中，每一该复数个隔板之两端皆与该槽体相接触，且具有复数个孔洞。

【技术特征摘要】
2011.12.13 TW 1001460021.一种槽体排泡装置，用于去除药液中含有的气泡，其特征在于，包括有：一槽体，具有一中空腔室用以承装药液以形成一液体平面；一药液入口及一药液出口；以及复数个隔板，间隔排列设置于该槽体中，其中，每一该隔板的两端均与该槽体相接触，且具有复数个孔洞。2.如权利要求1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该槽体还设置有一排气装置，该排气装置的位置至少高于该槽体高度的二分之一。3.如权利要求2所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该排气装置为自然排气装置或强制排气装置。4.如权利要求1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该孔洞由一海绵体所构成。5.如权利要求1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中每一个隔板均为一多层式隔板。6.如权利要求1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中，越接近该药液入口的该隔板的该孔洞的孔径大于远离该药液入口的该隔板的该孔洞的孔径。7.如权利要求6所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该孔洞为复数个六角形蜂槽状孔洞。8.如权利要求6所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该孔洞为任意多边形或圆形孔洞。9.如权利要求7所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该孔洞的孔径为单一孔径或大小不一孔径。10.如权利要求1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该槽体的底部为一非水平的斜面。11.如权利要求1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中该药液的液面高于该药液入口的高度，且低于该槽体的高度。12.如权利要求1所述的槽体排泡装置，其特征在于，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宗珀，陈敬业，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：