【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关一种半导体光电器件领域中锌的扩散装置和扩散方法，特别是指铟镓砷光电探测器制作过程中一种新型的锌的扩散装置及扩散方法。
技术介绍
传统铟镓砷外延片都是通过有机气相外延沉积(MOCVD)技术在N型磷化铟基底材料上生长铟镓砷吸收层和本征的磷化铟顶层，因此在工艺制作过程都需要通过各种掺杂技术，如:扩散、离子注入等，形成P型扩散区。因为锌的扩散工艺简单，对外延片表面损伤小，可以获得优良性能，所以得到广泛的应用。传统闭管扩散工艺是将外延片和扩散源放入石英管内，抽真空，然后需要用氢-氧焰封石英管，再放入炉膛中扩散，这种方法操作复杂，使用危险，扩散源和石英管不能重复利用，无法实现大尺寸外延片扩散，而且外延片表面极易污染。传统的开管扩散工艺虽然可使得扩散源和石英管能够重复利用，并且操作简单，但是由于开管扩散气压随大气压波动，而且将炉膛推来推去温度波动范围大，无法实现扩散深度高精度控制。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种操作简单、扩散深度精度高的光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法。为达到上述目的，本专利技术提供一种光电探测器制作中锌的扩散装置...
【技术保护点】
一种光电探测器制作中锌的扩散装置，其特征在于，其包括加热炉、两端封闭的石英管、气体控制系统、真空系统、用以容置扩散源及待扩散的外延片的石英舟以及用以推送该石英舟进入石英管的真空推进装置，该石英管一端位于加热炉炉膛中，为恒温区，另一端位于加热炉炉膛外，为冷却区，并处于室温状态，该气体控制系统通过恒温进气管连接石英管的恒温区，该气体控制系统另通过冷却进气管连接石英管的冷却区，可分别向石英管内充入氮气，该真空系统通过真空管道连接该石英管，并对石英管抽真空，该真空管道上设有用以排放过多氮气的尾气管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡艳，岳爱文，李晶，王权兵，
申请(专利权)人：武汉电信器件有限公司，
类型：发明
国别省市：
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