一种单晶炉用石墨埚制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉用石墨埚，其包括：能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块，多瓣所述埚块上均设置有第一凹槽和第二凹槽；设置在不同所述埚块上相互配合的所述第一凹槽和第二凹槽内以连接任意相邻的两瓣所述埚块的连接件。本实用新型专利技术提供的单晶炉用石墨埚，在其上设置凹槽，并在凹槽内设置连接件，以将多瓣埚块连接为一体，避免了埚块因与埚托存在缝隙而发生倾斜，避免了石墨埚与加热器之间发生打火的风险，减少了部件的损坏几率，保证了单晶炉的正常运行，也无需更换部件，节约了生产成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉
，更具体地说，涉及一种单晶炉用石墨埚。
技术介绍
单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备，在单晶炉的内部热场中，用于生产单晶硅的多晶硅原料盛放于石英埚中，石英埚安置于石墨埚OI中，石墨埚OI放置在埚托02上，如图1所示。其中，石墨埚由三瓣埚块拼接而成。单晶炉在生产单晶硅的过程中，在热场中会产生硅蒸汽，且在热场的高温环境中，硅蒸汽会与热场中的石墨埚01和埚托02发生化学反应而在其表面产生杂质，因此，在每次生产完成后，都需要对石墨埚01和埚托02进行打磨而去除其表面的杂质。石墨埚01和埚托02在长期使用的过程中，经过多次的打磨，导致石墨埚01与埚托02配合的接触面发生变形，使得其原本配合接触的接触面之间产生缝隙，且缝隙随着打磨次数的增加而越来越大，如图2所示，又由于石墨埚01是由三瓣埚块拼接而成，所以越来越大的缝隙会导致埚块在自身重力的作用下而向远离其他埚块的方向发生倾斜，使得埚块的顶部与设置在石墨埚01外侧的加热器的距离减小，进而产生石墨埚01与加热器之间发生打火的风险，一旦石墨埚01与加热器之间发生打火事故，会造成加热器和石墨埚01损坏，甚至造成单晶炉无法正本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉用石墨埚，其特征在于，包括：能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块（1），多瓣所述埚块（1）上均设置有第一凹槽（2）和第二凹槽（3）；设置在不同所述埚块（1）上相互配合的所述第一凹槽（2）和第二凹槽（3）内以连接任意相邻的两瓣所述埚块（1）的连接件。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用石墨埚，其特征在于，包括:能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块(I )，多瓣所述埚块(I)上均设置有第一凹槽(2)和 第二凹槽(3)；设置在不同所述埚块(I)上相互配合的所述第一凹槽(2)和第二凹槽(3)内以连接任 意相邻的两瓣所述埚块(I)的连接件。2.根据权利要求1所述的单晶炉用石墨埚，其特征在于，所述第一凹槽(2)和所述第二 凹槽(3)均为弧形凹槽。3.根据权利要求1所述的单晶炉用石墨埚...

【专利技术属性】
技术研发人员：白剑铭，孙二凯，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：