一种单晶炉用石墨埚制造技术

技术编号:8784922 阅读:189 留言:0更新日期:2013-06-10 00:03
本实用新型专利技术提供了一种单晶炉用石墨埚,其包括:能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块,多瓣所述埚块上均设置有第一凹槽和第二凹槽;设置在不同所述埚块上相互配合的所述第一凹槽和第二凹槽内以连接任意相邻的两瓣所述埚块的连接件。本实用新型专利技术提供的单晶炉用石墨埚,在其上设置凹槽,并在凹槽内设置连接件,以将多瓣埚块连接为一体,避免了埚块因与埚托存在缝隙而发生倾斜,避免了石墨埚与加热器之间发生打火的风险,减少了部件的损坏几率,保证了单晶炉的正常运行,也无需更换部件,节约了生产成本。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉
,更具体地说,涉及一种单晶炉用石墨埚
技术介绍
单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备,在单晶炉的内部热场中,用于生产单晶硅的多晶硅原料盛放于石英埚中,石英埚安置于石墨埚OI中,石墨埚OI放置在埚托02上,如图1所示。其中,石墨埚由三瓣埚块拼接而成。单晶炉在生产单晶硅的过程中,在热场中会产生硅蒸汽,且在热场的高温环境中,硅蒸汽会与热场中的石墨埚01和埚托02发生化学反应而在其表面产生杂质,因此,在每次生产完成后,都需要对石墨埚01和埚托02进行打磨而去除其表面的杂质。石墨埚01和埚托02在长期使用的过程中,经过多次的打磨,导致石墨埚01与埚托02配合的接触面发生变形,使得其原本配合接触的接触面之间产生缝隙,且缝隙随着打磨次数的增加而越来越大,如图2所示,又由于石墨埚01是由三瓣埚块拼接而成,所以越来越大的缝隙会导致埚块在自身重力的作用下而向远离其他埚块的方向发生倾斜,使得埚块的顶部与设置在石墨埚01外侧的加热器的距离减小,进而产生石墨埚01与加热器之间发生打火的风险,一旦石墨埚01与加热器之间发生打火事故,会造成加热器和石墨埚01损坏,甚至造成单晶炉无法正常运行。为防止事故发生,就需要更换石墨埚01或埚托02,而每个石墨埚01为2.9万元,每个埚托02为0.68万元,更换部件会大大增加单晶炉的生产成本。综上所述,如何减少部件的更换以降低生产成本,是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供了一种单晶炉用石墨埚,其避免了埚块发生倾斜,进而避免了与加热器之间发生打火事故,保证了单晶炉的正常运行,也无需更换部件,节约了生产成本。为了达到上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶炉用石墨埚,其包括:能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块,多瓣所述埚块上均设置有第一凹槽和第二凹槽;设置在不同所述埚块上相互配合的所述第一凹槽和第二凹槽内以连接任意相邻的两瓣所述埚块的连接件。优选的,上述单晶炉用石墨埚中,所述第一凹槽和所述第二凹槽均为弧形凹槽。优选的,上述单晶炉用石墨埚中,所述第一凹槽和所述第二凹槽靠近所述埚块的顶部边缘。优选的,上述单晶炉用石墨埚中,所述第一凹槽和所述第二凹槽的截面形状均为L形。优选的,上述单晶炉用石墨埚中,所述第一凹槽和所述第二凹槽均开设在所述埚块的外侧壁上。优选的,上述单晶炉用石墨埚中,所述连接件为钥丝。本技术提供的单晶炉用石墨埚中,在每瓣埚块上均设置有第一凹槽和第二凹槽,其中第一凹槽与相邻埚块上的第二凹槽配合,第二凹槽与另一相邻的埚块上的第一凹槽配合,连接件设置在第一凹槽和第二凹槽配合形成的较大的凹槽中以将两个相邻的埚块连接为一体。本技术提供的单晶炉用石墨埚,在其上设置凹槽,并在凹槽内设置连接件,以将多瓣埚块连接为一体,避免了埚块因与埚托存在缝隙而发生倾斜,避免了石墨埚与加热器之间发生打火的风险,减少了部件的损坏几率,保证了单晶炉的正常运行,也无需更换部件,节约了生产成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术提供的石墨埚与埚托的配合剖视图;图2为现有技术提供的石墨埚与埚托经过打磨产生缝隙后的结构示意图;图3为本技术实施例提供的单晶炉的石墨埚的剖视结构图;图4为本技术实施例提供的单晶炉的石墨埚的俯视图。以上图1-图4中:石墨祸01、祸托02 ;埚块1、第一凹槽2、第二凹槽3。具体实施方式为了进一步理解本技术,下面结合实施例对本技术优选实施方式进行描述,但是应当理解,这些描述只是为了进一步说明本技术的特征和优点,而不是对本技术权利要求的限制。本技术提供了一种单晶炉用石墨埚,其避免了埚块发生倾斜,进而避免了与加热器之间发生打火事故,保证了单晶炉的正常运行,也无需更换部件,节约了生产成本。下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。如图3和图4所示,本技术实施例提供的单晶炉用石墨埚,其包括:能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块1,多瓣埚块I上均设置有第一凹槽2和第二凹槽3 ;设置在不同埚块I上相互配合的第一凹槽2和第二凹槽3内以连接任意相邻的两瓣埚块I的连接件(图中未画出)。本实施例提供的单晶炉用石墨埚中,在每瓣埚块I上均设置有第一凹槽2和第二凹槽3,其中第一凹槽2与相邻埚块I上的第二凹槽3配合,第二凹槽3与另一相邻的埚块I上的第一凹槽2配合,连接件设置在第一凹槽2和第二凹槽3配合形成的较大的凹槽中以将两个相邻的埚块I连接为一体。本技术提供的单晶炉用石墨埚,在其上设置凹槽,并在凹槽内设置连接件,以将多瓣埚块I连接为一体,避免了埚块I因与埚托存在缝隙而发生倾斜,避免了石墨埚与加热器之间发生打火的风险,减少了部件的损坏几率,保证了单晶炉的正常运行,也无需更换部件,节约了生产成本。为了进一步优化上述技术方案,本实施例提供的单晶炉用石墨埚中,第一凹槽2和第二凹槽3均为弧形凹槽,如图3和图4。弧形的第一凹槽2和第二凹槽3加工工艺较为简单,而且比较美观,更重要的是当连接件设置在弧形的第一凹槽2和第二凹槽3内时,连接件施加给埚块I的阻挡力能够比较均匀的分布在弧形凹槽的各个部位,不会产生集中作用力,避免对质脆的埚块I造成损伤,不仅提高了连接效果,而且也最大程度的降低了对石墨祸使用寿命的影响。优选的,第一凹槽2和第二凹槽3靠近埚块I的顶部边缘。将第一凹槽2和第二凹槽3设置在埚块I的边缘,其不仅能够最大程度的避免拼接在一起的埚块I之间因倾斜而产生缝隙,同时也尽量避免了第一凹槽2和第二凹槽3对盛放在石墨埚内的石英埚和原料硅造成影响,进一步避免了因结构改进而对正常生产产生的影响。具体的,第一凹槽2和第二凹槽3的截面形状均为L形,如图4所示。将第一凹槽2和第二凹槽3的截面形状均设置为L形,使其内部具有挡边,连接件在安装于第一凹槽2和第二凹槽3内时能够被槽壁阻挡定位,连接件能够更加牢靠的安装于第一凹槽2和第二凹槽3内,降低了连接件意外脱落的风险,使得连接效果得到了进一步的保证。如图4所示,第一凹槽2和第二凹槽3均开设在埚块I的外侧壁上。在外侧壁上开设第一凹槽2和第二凹槽3以对埚块I进行连接,避免了第一凹槽2和第二凹槽3开设在内侧壁上对盛放在石墨埚内的石英埚和原料硅造成影响,使得生产过程能够顺利完成,进一步完善技术方案。在本实施例中,连接件为钥丝。在太阳能电池组件生产过程中,钥丝是单晶硅生产工序以外的其他工序中用到的生产工具,在单晶硅生产过程中使用钥丝作为连接件,可以就近取材,并且重复利用了生产资源,降低了生产成本。对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉用石墨埚,其特征在于,包括:能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块(1),多瓣所述埚块(1)上均设置有第一凹槽(2)和第二凹槽(3);设置在不同所述埚块(1)上相互配合的所述第一凹槽(2)和第二凹槽(3)内以连接任意相邻的两瓣所述埚块(1)的连接件。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用石墨埚,其特征在于,包括:能够拼接成完整石墨埚的多瓣埚块(I ),多瓣所述埚块(I)上均设置有第一凹槽(2)和 第二凹槽(3);设置在不同所述埚块(I)上相互配合的所述第一凹槽(2)和第二凹槽(3)内以连接任 意相邻的两瓣所述埚块(I)的连接件。2.根据权利要求1所述的单晶炉用石墨埚,其特征在于,所述第一凹槽(2)和所述第二 凹槽(3)均为弧形凹槽。3.根据权利要求1所述的单晶炉用石墨埚...

【专利技术属性】
技术研发人员:白剑铭孙二凯
申请(专利权)人:英利能源中国有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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