耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置制造方法及图纸

技术编号:8763261 阅读:193 留言:0更新日期:2013-06-07 13:18
本发明专利技术提供了一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置,包括主管道,和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件;抽空组件包括Ⅰ号阀门、冷阱和Ⅰ号真空泵机组;漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的Ⅱ号阀门、微调阀,以及与主管道连通并依次相连的Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门、标定容积;气源组件包括Ⅳ号阀门、稳压罐,以及与稳压罐连接的气源、Ⅱ号真空泵机组。本发明专利技术所提供的一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置,可选择漏入的气体介质,能够在10-6Pa·m3/s到10-2Pa·m3/s的宽范围内进行漏率的准确调节,可实时在线标定,并可应用于腐蚀环境。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置,包括主管道,和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件;抽空组件包括依次连接的Ⅰ号阀门、冷阱和Ⅰ号真空泵机组;漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的Ⅱ号阀门、微调阀,以及与主管道连通并依次相连的Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门、标定容积;其中,Ⅰ号真空计与Ⅲ号阀门、标定容积处于Ⅱ号阀门和微调阀之间;气源组件包括设置在主管道上的Ⅳ号阀门、稳压罐,以及与稳压罐连接的气源、Ⅱ号真空泵机组,在稳压罐上还连接有Ⅱ号真空计,稳压罐与气源、稳压罐与Ⅱ号真空泵机组之间分别设置有Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门,气源连接Ⅲ号真空计。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赫梓宇李德鑫王永华韩树昌姜秀珍邱志恒周永胜郭子学胡士华
申请(专利权)人:核工业理化工程研究院
类型:发明
国别省市:

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