批量微机械陀螺测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种批量微机械陀螺测试装置，所述测试装置包括上下两层圆台、数根圆柱形支撑柱、圆柱空腔、电路板。上层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条，下层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条以及安装锚点。圆柱空腔包括上下两个半空腔，其顶面和侧面分别设有通道开关、电源接口、主串口、主CAN总线接口、主模拟信号接口。电路板包括数块测试电路板和一块主电路板。测试电路板固定在上下两层圆台“F”形固定条上，上下两层圆台通过数根圆柱形支撑柱连接，圆柱空腔嵌入双层圆台中央通孔中，主电路板置于圆柱空腔内部。本发明专利技术的批量微机械陀螺测试装置适用于小批量测试微机械陀螺，适合小批量微机械陀螺生产中的性能测试和筛选场合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微机械陀螺测试装置
，具体涉及一种批量微机械陀螺测试装置。
技术介绍
微机械陀螺的生产主要采用微机械加工和真空封装，在整个生产环节存在着诸多误差影响微机械陀螺的性能，如:残余应力、刚度耦合、阻尼耦合、驱动和检测轴不对称等结构误差。同时真空封转气密性好坏也影响到微机械陀螺的性能。因此，在微机械陀螺的研制过程中就必须进行性能参数的测试与筛选。目前国际上已经研发出了 一些有价值的微陀螺测试设备。如Veeco公司的MEMS3500，但此类固定安装的专用设备，价格昂贵，不适用于工艺试验或小批量研制等场合。名称为“一种双轴转台的MEMS陀螺测试系统”的技术(申请号为:201020181149.1)公开了一种MEMS陀螺测试系统，该系统将带高低温箱的双轴转台和MEMS陀螺传感器测试单元结合起来，组成一种全自动的MEMS陀螺综合测试系统。该方案每次仅能进行单只芯片的测试，测试效率明显较低。
技术实现思路
为了克服现有技术中的微机械陀螺测试系统测试效率低，每次仅能测试单只芯片的不足，本专利技术提供一种批量微机械陀螺测试装置，本专利技术能够安装在陀螺测试转台上，并完成对小批量的微机械陀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种批量微机械陀螺测试装置，其特征在于：所述的测试装置包括上层圆台（1）、下层圆台（3）、数根圆柱形支撑柱、圆柱空腔、电路板;?其连接关系是，所述上层圆台（1）和下层圆台（3）均对应设置有同直径的中央通孔；所述电路板包括一块主电路板（18）和数块测试电路板，主电路板（18）含有处理器（14）、ADC芯片（15）、用于为主电路板（18）和测试电路板供电的供电模块（16）、用于与PC机进行通信的Zigbee无线通信模块（17），所述的测试电路板上设置有用于信号输出格式选择的三选开关、驱动检测电路、一个从串口、一个从CAN接口和一组从模拟信号接口；上层圆台（1）包括数根用于固定测试电路板的“F”形固...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘显学，官承秋，唐海林，周浩，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：