适于中高温热利用的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种适于中高温热利用的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该太阳能选择性吸收膜系自下而上依次包括镀制在金属基底上的红外高反射银薄膜、铜薄膜、钛铝氮氧薄膜、氧化锌锡锑薄膜以及二氧化硅薄膜。本发明专利技术的吸收膜系太阳能吸收率大于96%，发射率小于2%，具有超低发射率，光热转换效率高的特点，同时膜系中的氧化锌锡锑材料镀膜速率高，利于提高生产效率。该膜系可广泛应用于太阳能光热转换的集热器，适合于太阳能热利用在建筑一体化产品方面的应用，尤其适合于中高温太阳能热利用产品的广泛使用。本发明专利技术的吸收膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积基底上连续镀制，实现低成本大规模高效生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能集热器吸热膜、光热转化材料领域，具体是指一种。
技术介绍
随着现代社会经济的高速发展，人类对能源的需求量越来越大。然而煤、石油、天然气等传统能源储备量不断减少、日益紧缺，造成价格的不断上涨，同时常规化石燃料造成的环境污染问题也愈加严重，这些都大大限制着社会的发展和人类生活质量的提高。能源问题已经成为当代世界的最突出的问题之一。因而寻求新的能源，特别是无污染的清洁能源已成为现在人们研究的热点。太阳能是一种取之不尽用之不竭的清洁能源，而且资源量巨大，地球表面每年接收的太阳辐射能总量为lX1018kW.h，为世界年耗总能量的一万多倍。世界各国都已经把太阳能的利用作为新能源开发的重要一项，我国政府在《政府工作报告》也早已明确提出要积极发展新能源，其中太阳能的利用尤其占据着突出地位。然而由于太阳辐射到达地球上的能量密度小(每平方米约一千瓦)，而且又是不连续的，这给大规模的开发利用带来一定困难。因此，为了广泛利用太阳能，不仅要解决技术上的问题，而且在经济上必须能同常规能源相竞争。太阳能的利用主要有光热转化、光电转化、光化学转换这三种形式。相比于太阳能光伏产业和光化学转换的高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适于中高温热利用的太阳能选择性吸收膜系，其特征在于,膜系的结构为:在基底（1）上自下而上依次为银膜（2），铜膜（3）、钛铝氮氧薄膜（4）、氧化锌锡锑薄膜（5）以及二氧化硅薄膜（6），即:基底/Ag/Cu/TiAlxNyOz/ZnSnSbOx/SiO2其中：所述的基底（1）是Cu箔片、Al箔片、Ni箔片、Cr箔片或不锈钢箔片；所述的Ag膜（2）厚度范围为100～200nm；所述的铜膜（3）厚度范围为5nm～20nm；所述的钛铝氮氧薄膜（4）TiAlxNyOz中，Ti、Al、N、O四种元素的原子比范围为Ti:Al:N:O=1:0~1:0.5~1:1~2，厚度范围为50nm～150nm；所述的氧...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陆卫，陈飞良，王少伟，俞立明，刘星星，简明，郭少令，陈效双，王晓芳，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所， 上海德福光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31