一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法技术

本发明专利技术提供一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法，该设备由嵌入式母板和单片机子板构成，两板之间通过串口进行通信，母版包括核心板和功能板，其中核心板包括存储器，微处理器，功能板包括触摸屏模块，USB设备模块，网络连接模块，SD卡读取存储模块，串口模块，摄像头模块，复位模块，立体声播放模块以及调试模块；子板包括串口模块，步进电机控制模块，电磁阀控制模块和光电开光接收模块。本发明专利技术能实现所有光刻操作触摸控制，全程语音提示操作，使得整个光刻过程更加人性化。液晶屏和立体声播放模块的结合可以实现多媒体影音播放功能，可用于产品的推广和操作指南学习。本发明专利技术使用高分辨率的摄像头，可以完成曝光过程中的对准和检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是涉及接近接触式光刻系统中的控制装置，特别是涉及。
技术介绍
(I)传统光刻机的控制系统是基于机械式控制面板的，整个操作几乎没有人机互动，没有形象具体的提示；由于机械按钮易老化，长期使用会导致负触发。初次使用的户都需要阅读冗长的说明书，得不到形象直观的指导；当软件出错或者用户遇到使用困难时，开发人员往往需要前往使用地进行调试和指导；而且在很大程度上限制了摄像头的使用；(2)使用PC机对光刻机进行控制，用户只能使用鼠标和键盘来进行控制，无法使用更加方便有效的方法来进行操作；对于普通的光刻机，PC机的功能往往得不到最充分的使用，从而造成资源的极大浪费；而且作为PC机而言，相比嵌入式设备，其价格要高出许多；PC机功耗大，在实际的使用过程中需要风扇降温，引入了振动的问题；加上PC机体积较大，大量占用了有限的空间资源。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种基于嵌入式设备的控制装置。通过软硬件的协调合作，实现了良好的人机互动界面，远程开发和指导，人性化操作。这种设备稳定性好，体积小巧，功耗低，可扩展性强，而且开发成本低廉，运行速度快，具有很强的实时性，使用起来更加人性化和方便。为达本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于：该设备由嵌入式母板（15）和单片机子板（16）构成；所述的嵌入式母板（15）包括：触摸屏模块（10），USB设备模块（6），网络连接模块（7），SD卡读取存储模块（9），摄像头模块（8），嵌入式母板复位模块，立体声播放模块（11）以及调试模块（13）；所述的嵌入式母板（15）通过232接口（5）与单片机子板（16）连接；所述的嵌入式母板（15）与单片机子板（16）之间通过串口进行通信；该设备在所述的嵌入式母板（15）上提取出触摸屏上相应的操作，将命令串和数据串通过串口发送给单片机子板（16），由单片机子板（16）完成对步进电机和电磁阀的控制；该设备所...

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于:该设备由嵌入式母板(15)和单片机子板(16)构成；所述的嵌入式母板(15)包括:触摸屏模块(10)，USB设备模块(6)，网络连接模块(7)，SD卡读取存储模块(9)，摄像头模块(8)，嵌入式母板复位模块，立体声播放模块(11)以及调试模块(13);所述的嵌入式母板(15)通过232接口(5)与单片机子板(16)连接；所述的嵌入式母板(15)与单片机子板(16)之间通过串口进行通信；该设备在所述的嵌入式母板(15)上提取出触摸屏上相应的操作，将命令串和数据串通过串口发送给单片机子板(16)，由单片机子板(16)完成对步进电机和电磁阀的控制；该设备所述的单片机子板(16)提取出光刻机反馈的信号，将命令串和数据串通过串口发送给嵌入式母板(15)，由液晶屏和扬声器将信息传达给操作者；所述的单片机子板(16)包括步进电机控制模块(18)，电磁阀控制模块(26 )，光电开光接收模块(20 )，单片机复位模块和串口模块(17 )。2.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于嵌入式母板(15)包括: a)采用三星的S3C2440(I)芯片作为微处理器， b)配置8寸的四线电阻触摸屏； c)双串口(5),其中一个用于调试,一个用于与单片机通讯； d)五个USB接口，分别用于调试，音响供电，U盘接插和扩展板卡接口； e)采用核心板与功能分离分开设计，由排针与排针母座进行连接； f )采用专业复位芯片MAX811对母板进行复位； g)使用DM9000A网络芯片和HR911105网络接口实现与因特网的连接； h)采用拨码开关设 置启动模式。3.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式控制设备，其特征在于单片机子板(16)包括: a)采用AT89C52(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王楠，蒋薇，严伟，胡松，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：