【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在晶片上涂敷化学药剂的换向设备，具体地说一种两个单元液体供给共用一个液泵的换向倒极装置。
技术介绍
目前，公知在化学药剂涂敷工艺中，每路离心单元都自带一个液泵；而在一台设备运转过程中，通常的情况是一路离心单元涂敷液体时，另一路离心单元并没有进行涂敷工艺，而是暂时处理等待状态，与其配套的液泵并不能充分发挥效能，大量时间处于待命状态，严重浪费资源，工作效率低。
技术实现思路
为了克服上述液泵不能允分发挥效能的不足，本专利技术的目的在于提供一种换向倒极装置。该换向倒极装置可以使离心单元所配的液泵发挥最大效能，并且能够实现化学药剂一进两出，物理方式快速倒极。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴及电机，其中位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴，该中间轴相对转动地安装在壳体内，所述中间轴的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；所述电机安装在壳体的底部，电机的输出端与所述中间轴的底端相连，中间轴由电机驱动的转动副通过中间轴与...
【技术保护点】
一种换向倒极装置，其特征在于：包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴(5)及电机(8)，其中位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴(5)，该中间轴(5)相对转动地安装在壳体内，所述中间轴(5)的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；所述电机(8)安装在壳体的底部，电机(8)的输出端与所述中间轴(5)的底端相连，中间轴(5)由电机(8)驱动的转动副通过中间轴(5)与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。
【技术特征摘要】
1.一种换向倒极装置，其特征在于:包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴(5)及电机(8)，其中位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴(5)，该中间轴(5)相对转动地安装在壳体内，所述中间轴(5)的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；所述电机⑶安装在壳体的底部，电机⑶的输出端与所述中间轴(5)的底端相连，中间轴(5)由电机(8)驱动的转动副通过中间轴(5)与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。2.按权利要求1所述的换向倒极装置，其特征在于:所述四个接口围成一个四边形，位于中间轴(5)两端的两个支板相互平行、在水平面上的投影为“十”字，两个支板上的四个密封胶垫分别控制由四个接口围成的四边形四条边上胶路的开合。3.按权利要求1或2所述的换向倒极装置，其特征在于:所述中间轴(5)两端的两个支板分别固接有连接块，每个连接块的两端各设有一个密封胶垫；所述壳体内留有供两个支板及两个连接块上下升降的空间。4.按权利要求3所述的换向倒极装置，其特征在于:所述位于上方支板两端的密封胶垫朝下，位于下方支板两端的密封胶垫朝上。5.按权利要求1或2所述的换向倒极装置，其特征在于:所述胶路开设在壳体内，两相邻接口之间的胶路上下交错，上下两个胶路之间通过在壳体内开设的通孔(19)相连通，该通孔(19)与所述密封胶垫相对应。6.按权利要求5所述的换向倒极装置，其特征在于:两相邻接口之间的上下两个胶路相互平行，位于上方的胶路的一端与其中一个接口连通，另...
【专利技术属性】
技术研发人员：童宇波，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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