本发明专利技术涉及在晶片上涂敷化学药剂的换向设备，具体地说一种两个单元液体供给共用一个液泵的换向倒极装置，包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴及电机，位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴，该中间轴相对转动地安装在壳体内，中间轴的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；电机安装在壳体的底部，电机的输出端与中间轴的底端相连，中间轴由电机驱动的转动副通过中间轴与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。本发明专利技术可以使离心单元所配的液泵发挥最大效能，实现了两个离心单元共用一个液泵，化学药剂一进两出。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在晶片上涂敷化学药剂的换向设备，具体地说一种两个单元液体供给共用一个液泵的换向倒极装置。
技术介绍
目前，公知在化学药剂涂敷工艺中，每路离心单元都自带一个液泵；而在一台设备运转过程中，通常的情况是一路离心单元涂敷液体时，另一路离心单元并没有进行涂敷工艺，而是暂时处理等待状态，与其配套的液泵并不能充分发挥效能，大量时间处于待命状态，严重浪费资源，工作效率低。
技术实现思路
为了克服上述液泵不能允分发挥效能的不足，本专利技术的目的在于提供一种换向倒极装置。该换向倒极装置可以使离心单元所配的液泵发挥最大效能，并且能够实现化学药剂一进两出，物理方式快速倒极。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴及电机，其中位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴，该中间轴相对转动地安装在壳体内，所述中间轴的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；所述电机安装在壳体的底部，电机的输出端与所述中间轴的底端相连，中间轴由电机驱动的转动副通过中间轴与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。其中:所述四个接口围成一个四边形，位于中间轴两端的两个支板相互平行、在水平面上的投影为“十”字，两个支板上的四个密封胶垫分别控制由四个接口围成的四边形四条边上胶路的开合；所述中间轴两端的两个支板分别固接有连接块，每个连接块的两端各设有一个密封胶垫；所述壳体内留有供两个支板及两个连接块上下升降的空间；所述位于上方支板两端的密封胶垫朝下，位于下方支板两端的密封胶垫朝上；所述胶路开设在壳体内，两相邻接口之间的胶路上下交错，上下两个胶路之间通过在壳体内开设的通孔相连通，该通孔与所述密封胶垫相对应；两相邻接口之间的上下两个胶路相互平行，位于上方的胶路的一端与其中一个接口连通，另一端位于所述通孔的上端，位于下方的胶路的一端与另一个接口连通，另一端位于所述通孔的下端；所述通孔位于密封胶垫的上方或下方；所述壳体相对两边的胶路相同；所述壳体为正方体，包括上阀盖、上阀体、下阀体及下阀盖，上阀盖、上阀体、下阀体及下阀盖由上至下依次设置、通过螺钉固接；在上阀盖、上阀体及下阀体的四个角沿壳体的高度方向开有圆孔，其中任一条对角线上的两个圆孔中间断开、断开处与其两侧的胶路相连通，另一条对角线上的两个圆孔分别在中间及底部与其两侧的胶路相连通；所述上阀盖及上阀体上的圆孔设有内螺纹，四个接口为中空的圆柱，四个接口的两端分别设有外螺纹，四个接口的一端分别与上阀盖及上阀体上的圆孔螺纹连接；所述位于四角的四个接口分别为第一接口、第二接口、第三接口及第四接口，其中第一接口与第三接口之间的胶路与第二接口与第四接口之间的胶路相同，第一接口与第二接口之间的胶路与第三接口与第四接口之间的胶路相同；第一接口与第三接口之间的胶路与第二接口与第四接口之间的胶路同时接通，第一接口与第二接口之间的胶路与第三接口与第四接口之间的胶路同时接通。本专利技术的优点与积极效果为:1.本专利技术将中间轴的转动副转换成上下两个支板的移动副，使四个密封胶垫交替控制四路胶路的开合，进而实现两个离心单元共用一个液泵，化学药剂一进两出，使离心单元所配的液泵发挥最大效能。2.本专利技术采用物理方式快速倒极，提高了工作效率。3.本专利技术可以减少设备上的一路液泵，使所配液泵发挥最大效能。4.本专利技术可以采用不同的液体，增加了本专利技术的适用范围。5.本专利技术采用的材质为ABS塑料，化学药剂在倒极装置中不与任何金属材质接触，并且用物理的方式快速倒极，不采用电磁阀吸合方式，确保化学药剂不被污染。附图说明图1为本专利技术的立体结构示意图；图2为本专利技术内部立体结构示意图；图3为本专利技术四分之一剖内部立体结构示意图；图4为本专利技术主视剖视图；图5为图4的E-E剖视图；其中:1为上阀盖，2为上阀体，3为下阀体，4为下阀盖，5为中间轴，6为第一支板，7为第二支板，8为电机，9为第一连接块，10为第二连接块，11为第一密封胶垫，12为第二密封胶垫，13为第三密封胶垫，14为第四密封胶垫，15为轴承，16为0型密封圈，17为第一胶路，18为第二胶路，19为通孔，20为第三胶路，21为第四胶路，A为第一接口，B为第二接口，C为第三接口，D为第四接口。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1 5所示，本专利技术包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴5及电机8，其中壳体为正方体，包括上阀盖1、上阀体2、下阀体3及下阀盖4，上阀盖1、上阀体2、下阀体3及下阀盖4由上至下依次设置、通过螺钉固接；在上阀盖1、上阀体2及下阀体3的四个角沿壳体的高度方向开有圆孔，四个圆孔的底部由位于最下方的下阀盖4密封，上阀盖I及上阀体2上的圆孔设有内螺纹，四个接口为中空的圆柱，四个接口的两端分别设有外螺纹，四个接口的一端(下端)分别与上阀盖I及上阀体2上的圆孔螺纹连接，另一端(上端)与液泵相连。位于正方形壳体四个角上的四个接口分别为第一接口 A、第二接口 B、第三接口 C及第四接口 D，两相邻的接口之间通过胶路相连通，即第一接口 A通过胶路分别与其相邻的第二接口 B和第三接口 C连通，第四接口 D通过胶路分别与其相邻的第二接口 B和第三接口 C连通。胶路开设在壳体内的四条边上，两相邻接口之间的胶路上下交错且相互平行，上下两个胶路之间通过在壳体内开设的通孔20相连通；其中第一接口 A与第三接口 C之间的胶路与第二接口 B与第四接口 D之间的胶路相同，第一接口 A与第二接口 B之间的胶路与第三接口 C与第四接口 D之间的胶路相同。第一接口 A和第四接口 D为正方形壳体一条对角线的两端，第二接口 B和第三接口 C为正方形壳体另一条对角线的两端。第一接口A与第四接口 D的圆孔中间断开、断开处与其两侧的胶路相连通，第三接口 C与第四接口 D的圆孔分别在中间及底部与其两侧的胶路相连通。第一接口 A与第三接口 C之间的胶路为在第一接口 A圆孔中间断开处的一侧连通位于下方的第二胶路18的一端，位于下方的第二胶路18的另一端则位于该侧通孔19的下方；位于上方的第一胶路17的一端与第三接口 C圆孔的中间相连通，另一端则位于该侧通孔19的上方。第二接口 B与第四接口 D之间的胶路与第一接口 A与第三接口 C之间的胶路相同，为在第二接口 B圆孔中间连通于位于上方的第一胶路17的一端，位于上方的第一胶路17的另一端则位于该侧通孔19的上方；位于下方的第二胶路18的一端与第四接口 D圆孔中间断开处的一侧相连通，另一端则位于该侧通孔19的下方。第一接口 A与第二接口 B之间的胶路为在第一接口 A圆孔中间断开处的另一侧连通位于上方的第三胶路20的一端，位于上方的第三胶路20的另一端则位于该侧通孔19的上方；位于下方的第四胶路21的一端与第二接口 B圆孔的下端连通，第四胶路21的另一端则位于该侧通孔19的下方。第三接口 C与第四接口 D之间的胶路与第一接口 A与第二接口 B之间的胶路相同，为在第三接口 C的底部与位于下方的第四胶路21的一端相连通，位于下方的第四胶路21的另一端位于该侧通孔19的下方；位于上方的第三胶路20的一端与第四接口 D圆孔圆孔中间断开处的另一侧相连通，位于上方的第三胶路2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种换向倒极装置，其特征在于：包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴(5)及电机(8)，其中位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴(5)，该中间轴(5)相对转动地安装在壳体内，所述中间轴(5)的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；所述电机(8)安装在壳体的底部，电机(8)的输出端与所述中间轴(5)的底端相连，中间轴(5)由电机(8)驱动的转动副通过中间轴(5)与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。
【技术特征摘要】
1.一种换向倒极装置，其特征在于:包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴(5)及电机(8)，其中位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴(5)，该中间轴(5)相对转动地安装在壳体内，所述中间轴(5)的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；所述电机⑶安装在壳体的底部，电机⑶的输出端与所述中间轴(5)的底端相连，中间轴(5)由电机(8)驱动的转动副通过中间轴(5)与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。2.按权利要求1所述的换向倒极装置，其特征在于:所述四个接口围成一个四边形，位于中间轴(5)两端的两个支板相互平行、在水平面上的投影为“十”字，两个支板上的四个密封胶垫分别控制由四个接口围成的四边形四条边上胶路的开合。3.按权利要求1或2所述的换向倒极装置，其特征在于:所述中间轴(5)两端的两个支板分别固接有连接块，每个连接块的两端各设有一个密封胶垫；所述壳体内留有供两个支板及两个连接块上下升降的空间。4.按权利要求3所述的换向倒极装置，其特征在于:所述位于上方支板两端的密封胶垫朝下，位于下方支板两端的密封胶垫朝上。5.按权利要求1或2所述的换向倒极装置，其特征在于:所述胶路开设在壳体内，两相邻接口之间的胶路上下交错，上下两个胶路之间通过在壳体内开设的通孔(19)相连通，该通孔(19)与所述密封胶垫相对应。6.按权利要求5所述的换向倒极装置，其特征在于:两相邻接口之间的上下两个胶路相互平行，位于上方的胶路的一端与其中一个接口连通，另...
【专利技术属性】
技术研发人员：童宇波，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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