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本发明涉及在晶片上涂敷化学药剂的换向设备，具体地说一种两个单元液体供给共用一个液泵的换向倒极装置，包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴及电机，位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴，该中间轴相对...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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