用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔制造技术

本发明专利技术公开一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔，该洗涤塔包括：循环洗涤剂箱，循环洗涤剂箱的中部设置有多孔的隔板，隔板下方的循环洗涤剂箱用于收集洗涤剂，隔板上设置有用于增大酸碱性排气与洗涤剂的接触面积的填料；循环泵和循环管路，循环泵通过循环管路与循环洗涤剂箱连接，用于驱动洗涤剂循环流动；以及液位计，液位计设置在循环洗涤剂箱的下部，并通过连接装置与循环洗涤剂箱连接，连接装置上设置有过滤装置。根据本发明专利技术的洗涤塔不但能够有效地防止杂物和填料的破碎物等进入液位计而将其损坏，进而避免由于洗涤塔内液位过低而影响洗涤塔的洗涤效果，还具有结构简单、对半导体厂房的酸碱性排气处理效果优异等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔。
技术介绍
半导体厂房等洁净室的工艺排气系统所排放的气体通常呈酸碱性，如果直接排放到环境中会产生污染，因此，会采用洗涤塔对该酸碱性排气进行处理。酸碱性排气经过洗涤塔时与其内的洗涤剂发生化学反应，以去除所包含的酸碱性成分。洗涤塔内洗涤剂液位的补水和排水等均由液位计联动控制。大部分厂房的洗涤塔均安装在室外，长期运行后，洗涤塔内的洗涤剂中会存在大量杂物。此外，为了增大洗涤塔的处理效率，洗涤塔内通常会设置有填料，填料在长期工作后会发生脆化破碎的现象。上述杂物和填料的破碎物等如果进入液位计并且未及时处理的话，可能会造成液位计浮球卡住，而导致液位计无法正确地反应洗涤塔内洗涤剂的液位。其后果是，如果液位过低而不能及时补水，则会严重影响洗涤塔的洗涤效果，进而对环境造成不利的影响。因此，需要一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔以解决上述问题。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔，所述洗涤塔包括: 循环洗涤剂箱，所述循环洗涤剂箱的中部设置有多孔的隔板，所述隔板下方的所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔，其特征在于，所述洗涤塔包括：?循环洗涤剂箱，所述循环洗涤剂箱的中部设置有多孔的隔板，所述隔板下方的所述循环洗涤剂箱用于收集洗涤剂，所述隔板上设置有用于增大所述酸碱性排气与所述洗涤剂的接触面积的填料；循环泵和循环管路，所述循环泵通过所述循环管路与所述循环洗涤剂箱连接，用于驱动所述洗涤剂循环流动；以及液位计，所述液位计设置在所述循环洗涤剂箱的下部，并通过连接装置与所述循环洗涤剂箱连接，所述连接装置上设置有过滤装置。

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔，其特征在于，所述洗涤塔包括: 循环洗涤剂箱，所述循环洗涤剂箱的中部设置有多孔的隔板，所述隔板下方的所述循环洗涤剂箱用于收集洗涤剂，所述隔板上设置有用于增大所述酸碱性排气与所述洗涤剂的接触面积的填料； 循环泵和循环管路，所述循环泵通过所述循环管路与所述循环洗涤剂箱连接，用于驱动所述洗涤剂循环流动；以及 液位计，所述液位计设置在所述循环洗涤剂箱的下部，并通过连接装置与所述循环洗涤剂箱连接，所述连接装置上设置有过滤装置。2.按照权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述连接装置包括设置在所述液位计的入口管上的第一法兰环、设置在所述循环洗涤剂箱的出口管上的第二法兰环以及用于连接所述第一法兰环和所述第二法兰环的连接件。3.按照权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄建春，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：