下载用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔的技术资料

文档序号:8673971

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本发明公开一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔,该洗涤塔包括:循环洗涤剂箱,循环洗涤剂箱的中部设置有多孔的隔板,隔板下方的循环洗涤剂箱用于收集洗涤剂,隔板上设置有用于增大酸碱性排气与洗涤剂的接触面积的填料;循环泵和循环管路,循环泵通过循环...
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