【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于将振动能量转换成电能的振动发电元件以及具备该元件的振动发电装置。
技术介绍
近年来，作为MEMS (Micro Electro Mechanical Systems :微机电系统)设备的一种，各地都在研究开发被设置成将缘于车的振动及人的运动的振动等周围的振动的振动能量转换成电能的振动发电元件。作为这种振动发电元件，例如，已知如图8A所示的元件，具备悬臂部(可挠部)82b，其第I端侧被固定于由Si构成的基底基板81的支撑部82a，而第2端侧与基底基板81隔着空间地能够自由摆动地被支撑；以及发电部83，其在悬臂部82b上形成，且被设置成根据悬臂部82b的振动产生交流电(例如，Y. B. Jeon, et al, “MEMS powergeneratorwith transverse mode thin film PZT”，Sensors and Actuators A122, 16-22，2005 (以下称为“文献I”))。图8A所示的振动发电元件810中，悬臂部82b是具备由SiO2或Si3N4构成的薄膜86以及在该薄膜86上形成的、防止来自...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.10.01 JP 2010-2241541.一种振动发电元件，其特征为， 具备: 基底基板，具备支撑部、以及能够自由摆动地被该支撑部支撑的悬臂部；以及 发电部，形成于上述悬臂部，并构成为根据上述悬臂部的振动而产生交流电， 上述发电部具备: 下部电极，与上述悬臂部重叠地形成在上述基底基板的一个表面侧； 第I压电层，形成在从上述悬臂部观察时的该下部电极的相反侧； 中间电极，形成在从上述下部电极观察时的该第I压电层的相反侧； 第2压电层，形成在从上述第I压电层观察时的该中间电极的相反侧；以及 上部电极，形成在从上述中间电极观察时的该第2压电层的相反侧。2.如权利要求1所述的振动发电元件，其特征为， 上述第I压电层以及上述第2压电层，分别是强介电体薄膜。3.如权利要求1所述的振动发电元件，其特征为， 上述第I压电层中的极化方向与上述第2压电层中的极化方向，在上述发电部的厚度方向上为同一方向。4.如权利要求2所述的振动发电元件，其特征为， 上述第I压电层中的极化方向与上述第2压电层中的极化方向，在上述发电部的厚度方向上为同一方向。5.如权利要求1所述的振动发电元...
【专利技术属性】
技术研发人员：山内规裕，小川纯矢，松岛朝明，相泽浩一，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
国别省市：
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