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振动发电元件包括含有支撑部及悬臂部的基底基板、以及用于根据悬臂部的振动而产生交流电的发电部。发电部包括下部电极，其在基底基板的一个表面侧与悬臂部重叠地形成；第1压电层，形成在从悬臂部观察时的下部电极的相反侧；中间电极，形成在从下部电极观察时...
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