【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种信号获取方法，尤其涉及一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法。
技术介绍
准分子激光器能够在紫外波段提供高能量、高峰值功率、高光束质量的激光输出，由于波长短、脉宽短、峰值功率高，其输出光束在冷加工中使多种金属、非金属材料气化，产生整齐的切边，无热影响区，在工业微加工领域准分子激光器有着广泛的应用，特别是在紫外光刻领域更是目前还有着无可取代的地位。近年来，用于光刻的准分子激光器输出功率越来越大，而关于脉冲能量稳定性、波长稳定性和带宽稳定性等光束参数的规范也越来越严格，这样的情况下，采用单一放电腔的准分子激光器设计基本不可行，因为对脉冲能量的精确控制可能会对波长或带宽造成不利影响。目前的国外的主流做法是采用两放电腔的准分子激光器。这类结构中，第一个放电腔产生激光能量较低但光束参数较好的种子光，种子光传输到第二个放电腔时，该放电腔放电，并对种子光进行能量放大，这样可以获得高重复频率条件下的能量较大且光束参数良好的准分子激光输出，过程如图1所示。由于准分子激光器的放电时间很短，一般2(T50ns，且激活介质的上能级寿命也在IOns量级，因此准分子激光器的粒子数反转仅能在放电期间存在。所以在这种双放电腔激光器中，第一个激光器的激光束到达第二个激光器时，该激光器必须粒子数反转才能实现对种子光的有效放大。因此，两激光器的放电必须时间上在一定范围内同步，例如±5ns。但是由于存在诸多影响激光器放电时间的因素，会随着工作时间和脉冲数量等逐渐改变初始的相对时序，影响两腔的同步性，所以MOPA结构的准分子激光器需要同步系统来进行两腔的放电同步。专...
【技术保护点】
一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于：包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，并将两放电高压信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现?MOPA双腔同步出光。
【技术特征摘要】
1.一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于:包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，并将两放电高压信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。2.—种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于:包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号，采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放...
【专利技术属性】
技术研发人员：方晓东，梁勖，王效顺，鲍健，
申请(专利权)人：中国科学院安徽光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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