位移检测装置、标尺校准方法和标尺校准程序制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种位移检测装置、标尺校准方法和标尺校准程序，所述位移检测装置包括：标尺，其具有光学格子；检测单元，其被配置为能够在扫描方向上相对于所述标尺移动，所述检测单元至少包括设置在所述扫描方向上以根据所述光学格子检测位置信息的第一检测部、第二检测部和第三检测部；以及计算部，用于通过基于所述检测单元所检测到的位置信息来确定所述检测部的位置并计算测量误差，来获得针对所述标尺的刻度的自校准曲线；其中，所述检测单元被设置为，所述第一检测部和所述第二检测部之间的距离与所述第二检测部和所述第三检测部之间的距离互不相同并且不形成整数倍的关系。

【技术实现步骤摘要】
位移检测装置、标尺校准方法和标尺校准程序
本专利技术涉及一种应用于直线编码器、旋转编码器等的位移检测装置、标尺校准方法和标尺校准程序。
技术介绍
通常在出厂之前对诸如编码器等位移测量装置的测量误差进行评估。诸如激光干涉仪等高精度位移传感器用作误差评估的基准。由此获得的误差数据以出厂前检查表的形式与编码器一起出厂，以用作用于保证编码器性能的重要数据。然而，当编码器的标尺附着于机床、测量装置等应用时，根据标尺的材料和长度以及固定方法，编码器的标尺可能会产生变形。在一些情况下，标尺所产生的变形可能会引起相对于所要求的规格而言无法忽视程度的测量误差，由此将会破坏预先评估出的误差数据的可靠性。作为解决该问题的方法，考虑在用户的应用中设置基准位移传感器以对编码器的测量误差进行机上校准。尽管如此，不期望由于位移传感器的设置所需的人力以及高精度位移传感器的价格给用户造成负担。另一方面，例如，已知一种在这类位移检测装置中的针对标尺的刻度上的测量误差的自校准的方法(JP2008224578A以及"SatoshiKiyono,"IntelligentPrecisionMeasurement",TheJap本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种位移检测装置，包括：标尺，其具有光学格子；检测单元，其被配置为能够在扫描方向上相对于所述标尺移动，所述检测单元具有至少包括第一检测部、第二检测部和第三检测部的n个检测部，所述n个检测部沿所述扫描方向排列并且用于根据所述光学格子检测位置信息，其中n是不小于3的整数；以及计算部，用于通过基于所述检测单元所检测到的位置信息确定所述检测部的位置并计算测量误差，来获得针对所述标尺的刻度的自校准曲线，其中，所述检测单元被设置为，所述第一检测部和所述第二检测部之间的距离与所述第二检测部和所述第三检测部之间的距离互不相同并且不形成整数倍的关系；以及所述计算部通过重复在所述扫描方向上移动所述检测单元的操作，...

【技术特征摘要】
2011.10.25 JP 2011-2337481.一种位移检测装置，包括：标尺，其具有光学格子；检测单元，其被配置为能够在扫描方向上相对于所述标尺移动，所述检测单元具有至少包括第一检测部、第二检测部和第三检测部的n个检测部，所述n个检测部沿所述扫描方向排列并且用于根据所述光学格子检测位置信息，其中n是不小于3的整数；以及计算部，用于通过基于所述检测单元所检测到的位置信息确定所述检测部的位置并计算测量误差，来获得针对所述标尺的刻度的自校准曲线，其中，所述检测单元被设置为，所述第一检测部和所述第二检测部之间的距离与所述第二检测部和所述第三检测部之间的距离互不相同并且不形成整数倍的关系；以及所述计算部通过重复在所述扫描方向上移动所述检测单元的操作，直到所述第一检测部、所述第二检测部和所述第三检测部中的一个检测部所检测到的位置信息被另一个检测部检测到，并且基于所检测到的位置信息以及检测到所述位置信息的检测部之间的距离计算测量误差，来获得针对所述标尺的刻度的自校准曲线。2.根据权利要求1所述的位移检测装置，其中，所述第一检测部和所述第二检测部之间的距离与所述第二检测部和所述第三检测部之间的距离的差值小于所述n个检测部在物理上能够设置的最小距离d。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村彰秀，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：