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本发明涉及一种位移检测装置、标尺校准方法和标尺校准程序，所述位移检测装置包括：标尺，其具有光学格子；检测单元，其被配置为能够在扫描方向上相对于所述标尺移动，所述检测单元至少包括设置在所述扫描方向上以根据所述光学格子检测位置信息的第一检测部、...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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