一种双工作模式MEMS光学探头制造技术

本实用新型专利技术公布了一种双工作模式MEMS光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的MEMS微镜固定于所述主体基座前端；第一透镜组件固定与所述主体基座一侧，其通过MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。本实用新型专利技术采用双透镜组件进行探头组装，用一个MEMS微镜便可实现两种工作模式，结合OCT成像系统可用于人体内多种器官的腔道的扫描成像并作出诊断，或用于工业领域和其它检测测量领域。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种MEMS光学扫描探头，尤其涉及ー种双工作模式MEMS光学探头；属于医疗设备或エ业检测
，特别是涉及ー种MEMS光学扫描探头。
技术介绍
将微机电系统技术(microelectromechanical systems,简称MEMS)的扫描微镜与光学相干层析成像(Optical Coherence Tomography, OCT)技术相结合,进行内窥镜成像系统开发是专利申请单位的主要开发项目。图1为本技术申请人之一的技术专利ZL201110071103低成本内窥镜微型光学探头，其采用MEMS微镜实现了侧向扫描工作，用于内窥成像时可将其侧面窗ロ与样品对准进行光学扫描，特别适应于腔道侧壁的扫描诊断。图2为本技术申请人之一的专利201210363551. 5—种MEMS光学探头，其采用MEMS微镜实现了前向扫描工作，用于内窥成像时可将其前端窗ロ贴近样品并进行扫描，特别适应于内脏器官和较隐蔽组织的扫描成像。综合考虑，两种不同工作方式的专利探头均具自己的优势，但均有一定局限性，侧扫光学探头不利于器官组织的扫描，前扫光学探头则不利于腔道侧壁的扫描。本技术为了解决此问题，创造性地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双工作模式MEMS光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，其特征在于，所述探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的所述MEMS微镜固定于所述主体基座前端；所述第一透镜组件固定与所述主体基座一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。

【技术特征摘要】
1.一种双工作模式MEMS光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，其特征在于，所述探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的所述MEMS微镜固定于所述主体基座前端；所述第一透镜组件固定与所述主体基座一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。2.如权利要求1所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述第一透镜组件和第二透镜组件同时采集经MEMS微镜反射回来的样品漫反射光，或者仅有其中一路采集样品漫反射光进入OCT图像处理系统。3.如权利要求1所述的一种双工作模式MEMS光学探头,其特征在于,所述窗口座设于所述主体基座前端，所述侧向扫描光束和前向或侧前向扫描光束透过所述窗口座分别对样品进行扫描。4.如权利要求1或3所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述窗口座采用对工作波长光透明的材料制成或在所述窗口座上形成两个采用平面或曲面窗片进行密封的窗口。5.如权利要求4所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述MEMS微镜的电连接方式是在所述主体基座上直接形成，或者采用PCB、陶瓷电路板安放于所述主体基座上的相应位置后形成电连接通路。6.如权利要求1或5所述的一种双工作模式MEMS光学探头,其特征在于,所述主体基座前端与后端分别设有通过电连接的前端电接口和后端电接口 ；所述MEMS微镜与所述前端电接口连接。7.如权利要求6所述的一种双工作模式MEMS光学探...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅霖来，谢会开，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：