下载一种双工作模式MEMS光学探头的技术资料

文档序号:8596330

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本实用新型公布了一种双工作模式MEMS光学探头,包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体,探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件;与外部驱动电路电连接的MEMS微镜固定于所述主体基座...
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