一种控制化学液温度的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种控制化学液温度的装置及方法，该装置主管路末端通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其中，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室。通过本发明专利技术提高了各个工艺腔室化学液温度和粘度的一致性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体工艺清洗设备领域，尤其涉及。
技术介绍
在传统的半导体清洗工艺中，针对进入工艺腔室中化学液粘度不一致的情况，在工艺过程中，通过加热器加热到一定温度的化学液流经到各个工艺腔室的路径不同，因而到达各工艺腔室的化学液的温度和粘度不同，不能够很好的满足工艺要求，对清洗的效果带来一定的影响。目前的工艺方案中，都只在主管路上对化学液进行加热，加热后的化学液通过多条并行管路进入到各自的工艺腔室。过程中，各个工艺腔室与加热器的距离有远有近，两者之间由于管路长度的不同，散失的热量以及水分的挥发存在一定的差异，这就使得流到每个工艺腔室中的化学液的粘度和温度的一致性得不到保证，不能很好的满足工艺要求，另一方面，由于加热器和工艺腔室之间还有一些距离，当化学液到达工艺腔室时，由于热量的散失化学液的温度会有所降低，导致实际的化学液工艺温度与加热器控制的温度有较大的偏差，不能实时反映当前的工艺温度。
技术实现思路
(一 )所要解决的技术问题本专利技术通过提供，提高了各个工艺腔室化学液温度和粘度的一致性。( 二 )技术方案本专利技术提供了一种控制化学液温度的装置，主管路末端分别通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其特征在于，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室。优选的，所述加热装置为加热带，加热带缠绕在管路上，所述加热带的接头与电源直接相连。优选的，在每个加热装置上连接控制器。优选的，所述控制器为数字显示温控器。优选的，在所述加热装置与工艺腔室间靠近工艺腔室侧的管路上分别安装温度传感器。本专利技术还提供了一种控制化学液温度的方法，该方法包括在主管路末端对化学液进行加热，加热后的化学液通过多条并行管路进入到各自的工艺腔室，其特征在于，在每条并行管路靠近工艺腔室侧安装加热装置对化学液进行加热。优选的，在所述加热装置上安装数字显示温控器对化学液温度进行监控。优选的，在所述工艺腔室侧安装温度传感器对加热后的化学液进行温度测量。(三)有益效果本专利技术通过在并行管路上安装加热装置，可以有效的解决实际的化学液工艺温度与加热器控制的温度有较大的偏差，不能实时反映当前的工艺温度的问题；同时解决了每个工艺腔室中化学液的粘度和温度的一致性得不到保证，不能很好的满足工艺要求的问题。其方法简单易行，不仅可以实时控制并显示化学液的温度，也提高了各工艺腔室化学液粘度和温度的一致性附图说明图1为本专利技术提供的控制化学液温度的装置。具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术做进一步详细说明。本专利技术提供了一种控制化学液温度的装置，主管路末端通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其特征在于，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室，各工艺腔室与加热装置的距离一致。这样不仅可以保证各工艺腔室化学液温度的一致性，而且各工艺腔室的化学液粘度的一致性也可以得到保证。可选的，所述加热装置为加热带，加热带缠绕在管路上，所述加热带的接头与电源直接相连；加热带装置较简单，容易实现。可选的，在每个加热装置上连接控制器；控制器可实时控制调节加热带的温度，更好的使进入各工艺腔室的化学液温度保持一致。所述控制器可选为数字显示温控器，实时显示监测温度。可选的，在所述加 热装置与工艺腔室间靠近工艺腔室侧的管路上分别安装温度传感器；温度传感器与数显温控器结合更好的实时控制并监测化学液的温度。本专利技术还提供了一种控制化学液温度的方法，该方法包括在主管路末端对化学液进行加热，加热后的化学液通过多条并行管路进入到各自的工艺腔室，其特征在于，在每条并行管路靠近工艺腔室侧安装加热装置对化学液进行加热。可选的，在所述加热装置上安装控制器对化学液温度进行监控。可选的，在所述工艺腔室侧安装温度传感器对加热后的化学液进行温度测量。通过该方法使进入工艺腔室的化学液的温度更大程度上保持了一致性，进而使化学液的粘度也尽可能保持一致性。结合附图1，温度控制装置及方法具体为控制化学液温度的装置，化学液在主管路上先经过气动阀(11)进入到水槽(2)中，再经气动阀(12)到达泵(3)，泵(3)通过管路将化学液输送到加热器(4)中加热，加热器的出口附近设置一温度传感器(5)监测温度，加热后的化学液进入4条并行管路，化学液分别通过4个气动阀(13)进入到各自的工艺腔室(8)进行工艺。在进行工艺之前的一段管路上缠绕一段加热带￠)，对化学液进行加热，加热带到管路出口的距离在不影响工艺的情况下尽可能缩短，这样不仅可以保证各工艺腔室的化学液温度的一致性，而且各工艺腔室化学液粘度的一致性也可以得到保证。加热带的接头与电源直接相连，并在各加热带上连接一个数显温控器(7)来实时控制并显示加热带的温度，为更好的达到监控温度的效果，在4条管路出口附近分别安装一个温度传感器TS(5)对加热后的化学液温度进行测量，TS与数显温控器结合实时控制并监测化学液的温度，通过对化学液温度的控制来改变其粘度，由于将加热装置设置在化学液即将进行工艺的管路部分，这相较于以前的只在主路上加热化学液的方案，更容易保证化学液在进行工艺时更加满足温度要求。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种控制化学液温度的装置，主管路末端通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其特征在于，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室。

【技术特征摘要】
1.一种控制化学液温度的装置，主管路末端通过多条并行管路与エ艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其特征在于，在气动阀与各相对应的エ艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近エ艺腔室。2.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述加热装置为加热带，加热带缠绕在管路上，所述加热带的接头与电源直接相连。3.如权利要求1所述装置，其特征在于，在每个加热装置上连接控制器。4.如权利要求3所述装置，其特征在于，所述控制器为数字显示温控器。5.如权利要求1所述装...

【专利技术属性】
技术研发人员：周传霞，吴仪，裴立坤，何金群，贾星杰，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：