温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种控制化学液温度的装置及方法，该装置主管路末端通过多条并行管路与工艺腔室连接，在所述每条并行管路上安装气动阀，其中，在气动阀与各相对应的工艺腔室之间的每条管路上安装加热装置，所述加热装置靠近工艺腔室。通过本发明提高了各个工艺腔室...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。