【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子机械系统MEMS
，为一种。
技术介绍
在微波技术研究中，幅度、相位和频率是表征微波信号的三个基本参数，其中，频率在微波信号的研究中有非常重要的作用，军事国防、商业通信和科学研究等领域都会用到频率检测器。微波频率检测器的设计主要采用外差法、计数法和谐振法原理，突出的优点是精度较高、频带较宽，但是通常结构复杂，无法实现微波频率的在线检测。随着科学技术的不断发展，对现代个人通信系统和雷达系统要求越来越高结构简单，电路尺寸小且能在线检测的微波频率检测器成为新的研究热点。近年来，随着MEMS技术的快速发展，并对MEMS悬臂梁结构进行了深入的研究，使基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器成为可能。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是现有的微波信号频率检测存在无法在线检测的缺点，用户需要简单的结构，较小的体积以及可在线检测的微波频率检测器。本专利技术的技术方案为基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器，在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS直接式微波功...
【技术保护点】
基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线，四个MEMS悬臂梁结构分为两对，对称悬于待测信号传输线的信号线上方，其中位于待测信号传输线的信号线同一侧两个MEMS悬臂梁结构分别连接一个MEMS直接式微波功率传感器，另一侧对称的两个MEMS悬臂梁结构分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS直接式微波功率传感器。
【技术特征摘要】
1.基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线，四个MEMS悬臂梁结构分为两对，对称悬于待测信号传输线的信号线上方，其中位于待测信号传输线的信号线同一侧两个MEMS悬臂梁结构分别连接一个MEMS直接式微波功率传感器，另一侧对称的两个MEMS悬臂梁结构分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS直接式微波功率传感器。2.根据权利要求1所述的基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器， 其特征是沿待测信号传输线方向，两对MEMS悬臂梁结构之间的距离L为中心频率点所对应波长的1/4，所述中心频率点指所述微波频率检测器的频率检测范围的中心频率点。3.根据权利要求1或2所述的基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是MEMS悬臂梁结构与功合器以及MEMS直接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接，功合器与MEMS直接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接；悬臂梁结构包括悬臂梁和锚区，悬臂梁与下方的待测信号传输线的信号线之间设...
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