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一种基于悬臂梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器及其检测方法，检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、四个完全相同的MEMS悬臂梁结构、功合器以及三个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器。本发明的微电子机械在线式微...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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