气体泄漏检测器制造技术

一种气体泄漏检测器，具备：吸气泵，抽吸从被检测对象泄漏的采样气体和作为测定基准的参考气体；气体检测传感器，测定基于抽吸气体的热传导率的电阻值的变化；单元块，内部具有导入抽吸气体的单元；单元开口有抽吸气体导入路径和气体排出路径，通过气体检测传感器的输出检测泄漏气体。单元是导入两种抽吸气体的单一空间。单元的相对的一个对向侧面分别开口有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出路径。气体排出路径的开口部设在两个抽吸气体导入路径的开口部之间。两个气体检测传感器设在与单元的另一个对向侧面同一平面上并设在各抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间。单元块中设有与气体排出路径的开口部连通的吸气泵。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体泄漏检测器，该气体泄漏检测器适用于检测例如气相色谱仪(以下，简称为GC)的载气的泄漏，在该气体泄漏检测器中，小型化的吸气泵和气体检测传感器构成一体，实现小型轻量化和操作的简便化，同时，导入抽吸气体的单元内容量紧凑化，使气体检测传感器准确并且迅速地感应，提高了气体泄漏检测灵敏度，而且降低了吸气泵的脉动，获得稳定的检测动作，还能够降低制作成本。
技术介绍
一般情况下，GC在氦气等载气的管路上连接试样导入部和分离色谱柱，由试样导入部注入的试样通过载气被送入到分离色谱柱中，在分离色谱柱中分离试样成分,所分离的试样成分由检测器检测。此时，在从载气供给管路到检测器的流路中，如果载气存在泄漏，则对分析精度带来不良的影响，如果从泄漏部位向所述流路中混入空气，则会加快分离色谱柱的劣化，所以载气的泄漏检查需要随时进行，该泄漏检查使用气体泄漏检测器。作为现有的所述气体泄漏检测器，配置有作为采样气体的检测气体和参考气体的吸入部、与各吸入部连通的配管、抽吸所述气体的泵、以及检测所述气体的气体热传导式气体传感器，所述气体传感器是将白金线圈构成在电桥电路中，在测定泄漏气体时，抽吸空气等参考本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体泄漏检测器，具备：吸气泵，抽吸从被检测对象泄漏的采样气体和作为测定基准的参考气体；热传导型的气体检测传感器，能够测定基于所述抽吸气体的热传导率的电阻值的变化；以及单元块，内部具有能够导入所述抽吸气体的单元；所述单元开口有抽吸气体导入路径和气体排出路径，通过所述气体检测传感器的输出能够检测泄漏气体，所述气体泄漏检测器的特征在于：所述单元是能够导入两种抽吸气体的单一空间，该单元的相对的一个对向侧面分别开口有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出路径，该气体排出路径的开口部配置在所述两个抽吸气体导入路径的开口部之间，同时，两个所述气体检测传感器配置在与单元的另一个对向侧面同一平面上，并且配置在...

【技术特征摘要】
2011.10.11 JP 2011-2241231.ー种气体泄漏检测器，具备吸气泵，抽吸从被检测对象泄漏的采样气体和作为测定基准的參考气体；热传导型的气体检测传感器，能够测定基于所述抽吸气体的热传导率的电阻值的变化；以及单元块，内部具有能够导入所述抽吸气体的単元；所述单元开ロ有抽吸气体导入路径和气体排出路径，通过所述气体检测传感器的输出能够检测泄漏气体，所述气体泄漏检测器的特征在于 所述单元是能够导入两种抽吸气体的单一空间，该单元的相対的ー个对向侧面分别开ロ有两个抽吸气体导入路径和単一的气体排出路径，该气体排出路径的开ロ部配置在所述两个抽吸气体导入路径的开ロ部之间，同时，两个所述气体检测传感器配置在与単元的另ー个对向侧面同一平面上，并且配置在各抽吸气体导入路径的开ロ部与气体排出路径的开ロ部之间，所述单元块中配置有与气体排出路径的开ロ部连通的吸气泵。2.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元块的内部形成有相互连通的切割槽和凹槽，在能够卡合在所述切割槽中的传感器基板上连接有传感器芯片，该传感器芯片收纳在所述凹槽中，所述单元被划分形成在该传感器芯片与所述凹槽之间。3.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元形成为俯视矩形。4.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 所述单元内的两个抽吸气体导入路径的开ロ部配置在与所述气体排出路径的开ロ部等距离的位置上。5.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在干， 各气体能够从所述两个抽吸气体导入路径的开ロ部向所述气体检测传感器或气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：高野善彦，周小靖，横须贺宪善，
申请(专利权)人：技迩科学株式会社，
类型：发明
国别省市：