一种真空泵粉尘沉积过滤装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及真空泵技术领域，具体地说是一种真空泵粉尘沉积过滤装置。包括冷却腔、导流机构、及冷却腔盖板，其中导流机构的外侧设有冷却腔，所述冷却腔的下端设有冷却腔盖板，所述导流机构容置于冷却腔和冷却腔盖板所形成的内腔内，所述冷却腔的上端设有与内腔连通的进气口，所述冷却腔盖板上设有出气口，气体经过内腔时通过导流机构和冷却腔的腔体壁沉积粉尘。本发明专利技术具有结构简单，易于实现、减少真空泵的维护次数，增加真空泵的使用寿命等特点，适用于光伏、半导体、科学仪器、精细化工、医疗等行业应用的真空泵系统中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空泵
，具体地说是一种真空泵粉尘沉积过滤装置。
技术介绍
真空泵在光伏、半导体、石化、制药等行业广泛应用，各种制程会产生粉尘颗粒和胶状物是导致真空泵失效、维修乃至损坏的主要原因，增加了真空泵使用单位的成本。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供了一种真空泵粉尘沉积过滤装置。该装置具有结构简单，易于实现、减少真空泵的维护次数，增加真空泵的使用寿命等特点。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案是一种真空泵粉尘沉积过滤装置，包括冷却腔、导流机构、及冷却腔盖板，其中导流机构的外侧设有冷却腔，所述冷却腔的下端设有冷却腔盖板，所述导流机构容置于冷却腔和冷却腔盖板所形成的内腔内，所述冷却腔的上端设有与内腔连通的进气口，所述冷却腔盖板上设有出气口，气体经过内腔时通过导流机构和冷却腔的腔体壁沉积粉尘。所述导流机构包括圆筒和导流板，其中圆筒的上、下端分别设置于冷却腔的上端腔体和冷却腔盖板上设有的定位止口内，所述导流板设置于圆筒的外表面上，气体与导流板接触后使粉尘沉积于导流板的表面。所述圆筒的上端与冷却腔的腔体之间设有弹簧。所述圆筒的下端与出气口连通，所述圆筒下端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于：包括冷却腔(1)、导流机构(3)、及冷却腔盖板(6)，其中导流机构(3)的外侧设有冷却腔(1)，所述冷却腔(1)的下端设有冷却腔盖板(6)，所述导流机构(3)容置于冷却腔(1)和冷却腔盖板(6)所形成的内腔(12)内，所述冷却腔(1)的上端设有与内腔(12)连通的进气口(8)，所述冷却腔盖板(6)上设有出气口(9)，气体经过内腔(12)时通过导流机构(3)和冷却腔(1)的腔体壁沉积粉尘。

【技术特征摘要】
1.一种真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于包括冷却腔(I)、导流机构(3)、及冷却腔盖板￠)，其中导流机构(3)的外侧设有冷却腔(I)，所述冷却腔(I)的下端设有冷却腔盖板(6)，所述导流机构(3)容置于冷却腔⑴和冷却腔盖板(6)所形成的内腔(12)内，所述冷却腔⑴的上端设有与内腔(12)连通的进气口(8)，所述冷却腔盖板(6)上设有出气口(9)，气体经过内腔(12)时通过导流机构(3)和冷却腔(I)的腔体壁沉积粉尘。2.按权利要求1所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于所述导流机构(3)包括圆筒和导流板，其中圆筒的上、下端分别设置于冷却腔(I)的上端腔体和冷却腔盖板(6)上设有的定位止口内，所述导流板设置于圆筒的外表面上，气体与导流板接触后使粉尘沉积于导流板的表面。3.按权利要求2所述的真空泵粉尘沉积过滤装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷震霖，王光玉，刘在行，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：