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本发明涉及真空泵技术领域，具体地说是一种真空泵粉尘沉积过滤装置。包括冷却腔、导流机构、及冷却腔盖板，其中导流机构的外侧设有冷却腔，所述冷却腔的下端设有冷却腔盖板，所述导流机构容置于冷却腔和冷却腔盖板所形成的内腔内，所述冷却腔的上端设有与内腔...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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