本发明专利技术提供了一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造。本发明专利技术提供的外排氨水回用系统,在PECVD废气处理装置与制绒、湿法刻蚀废气处理装置之间加设了一个氨水存储罐,并通过氨气回收管将所述PECVD废气处理装置与所述氨水存储罐相连通,通过加药管将所述氨水存储罐与所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置相连通。以PECVD废气处理装置产生的氨水直接作为制绒、湿法刻蚀废气处理装置的反应药剂,无需再分别单独地为两装置提供相应的反应药剂,大大减少了太阳能电池制造中,处理PECVD工序、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气时所需的药剂用量,使得处理成本明显降低。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池制造
,尤其涉及一种外排氨水回用系统。
技术介绍
光伏发电是根据光生伏特效应原理,利用太阳能电池板将光能直接转化为电能的一种无污染发电方式。不论是独立使用还是并网发电,光伏发电系统主要由太阳电池板(组件)、控制器和逆变器三大部分组成,它们主要由电子元器件构成,不涉及机械部件,所以,光伏发电设备结构简洁、使用寿命长、安装维护简便。太阳能电池板是太阳能发电系统中的核心部分,也是太阳能发电系统中价值最高的部分,其作用是将太阳的辐射能力转换为电能,或送往蓄电池中存储起来,或推动负载工作。太阳能电池板在使用时几乎不会对环境造成污染,十分环保。但是,在太阳能电池板制造过程中的许多工序会产生废气,这些废气或呈碱性或呈酸性,如直接排放至空气中会对空气质量以及周边环境造成危害。目前,太阳能电池制造行业对于PECVD工序(PECVD全称为Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition,即等离子体增强化学气相沉积法。是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体的方法。)、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气,一般都是采用洗涤法进行处理,即让废气通过清洗液,酸性气体通过碱性溶液、碱性气体通过酸性溶液,来吸收并除去其中的废气,然后将产生的废水排放到废水处理系统进行处理。其中,PECVD工序产生的剩余氨气通过水喷淋后,溶解到水中,形成的氨水再排放到废水处理系统中,增加了废水处理系统的处理负荷,而且外排的氨水需要通过盐酸等酸性药剂进行中和反应,处理成本较高;而电池车间制绒工序和湿法刻蚀工序会产生许多氮氧化物、氟化氢、氯化氢等酸性废气,需要在一级喷淋塔内加硫化钠作为还原剂对这些外排废气进行处理,消耗硫化钠药剂,因此,其处理成本也较高。由此可见,如何降低太阳能电池板制造中,PECVD工序、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气的处理成本是本领域内的技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术的目的在于提供一种外排氨水回用系统,以降低太阳能电池板制造中,PECVD工序、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气的处理成本。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造,包括PECVD废气处理装置以及制绒、湿法刻蚀废气处理装置,所述PECVD废气处理装置包括第一吸附箱;用于排出PECVD工序产生的废气,且与所述第一吸附箱相连通的第一进气管;加水箱;用于向所述加水箱内加水,且设置有第一进水阀的第一进水管;连通所述加水箱以及所述第一吸附箱的第一输入管;连通所述加水箱以及所述第一吸附箱的第一输出管;设置于所述第一输入管上的第一循环泵;所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置包括第二吸附箱;用于排出制绒、湿法刻蚀废气产生的废气,且与所述第二吸附箱相连通的第二进气管;加药箱;连通所述加药箱以及所述第二吸附箱的第二输入管;连通所述加药箱以及所述第二吸附箱的第二输出管;设置于所述第二输入管上的第二循环泵,还包括氨水存储罐;用于排放所述PECVD废气处理装置产生的氨水的氨水回收管,且所述氨水回收管与所述氨水存储罐相连通,所述氨气回收管上设置有回收阀门;连通所述加药箱与所述氨水存储罐,且用于向所述加药箱内加放氨水的加药管,所述加药管上设置有加药阀门;用于排放所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置产生的废水的废水外排管,所述废水外排管上设置有排水阀门。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述加药管上设置有氨水供应泵,且所述废水外排管上设置有排水泵。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述氨水存储罐的最低点高于所述加药箱的最闻点。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述第一循环泵、所述第二循环泵、所述氨水供应泵以及所述排水泵中至少有一个为耐酸泵。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述第一输入管与所述第一吸附箱连接处设置有喷淋头。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述第二输入管与所述第二吸附箱连接处设置有喷淋头。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述氨水存储罐内设置有降温装置。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述氨水存储罐内设置有PH检测装置。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,所述加药箱上连通设置有第二进水管,且所述第二进水管上设置有第二进水阀。进一步地,在上述外排氨水回用系统中,包括两个所述PECVD废气处理装置,以及一个所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置。本专利技术提供的外排氨水回用系统,在PECVD废气处理装置与制绒、湿法刻蚀废气处理装置之间加设了一个氨水存储罐,并通过氨气回收管将所述PECVD废气处理装置与所述氨水存储罐相连通,通过加药管将所述氨水存储罐与所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置相连通。使用时,首先通过PECVD废气处理装置对PECVD工序产生的废气中的氨气进行处理,使其溶于自来水中,形成氨水,产生的氨水通过氨水回收管回收至氨水存储罐中。在通过制绒、湿法刻蚀废气处理装置对制绒、湿法刻蚀工序产生的酸性废气进行处理时,将氨水存储罐里的氨水通过加药管加入加药箱中,并在制绒、湿法刻蚀废气处理装置中作为反应药剂来与制绒、湿法刻蚀工序产生的酸性废气进行反应,反应后最终生成的废水通过废水外排管排出。本专利技术提供的外排氨水回用系统,以PECVD废气处理装置产生的氨水直接作为制绒、湿法刻蚀废气处理装置的反应药剂,大大减少了太阳能电池制造中,处理PECVD工序、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气时所需的药剂用量,使得处理成本明显降低。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种PECVD废气处理装置的结构示意图;图2为本专利技术实施例提供的一种制绒、湿法刻蚀废气处理装置的结构示意图;图3为本专利技术实施例提供的一种外排氨水回用系统的结构示意图;图4为本专利技术实施例提供的另一种外排氨水回用系统的结构示意图;其中,图1一图5中11为第一吸附箱、12为第一进气管、13为加水箱、14为第一进水管、141为第一进水阀、15为第一输入管、151为第一循环泵、16为第一输出管、21为第二吸附箱、22为第二进气管、23为加药箱、24为第二进水管、241为第二进水阀、25为第二输入管、251第二循环泵、26为第二输出管、31为氨水存储罐、32为氨水回收管、321为回收阀、33为加药管、331为加药阀、332为氨水供应泵、34为废水外排管。具体实施例方式本专利技术实施例提供了一种外排氨水回用系统,能够降低太阳能电池板制造中,PECVD工序、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气的处理成本。下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。请结合图1一图3,图1为本专利技术实施例提供的一种PECVD废气处理装置的结构示意图。该PECVD废气处理装置包括第一吸附箱11 ;用于排出PEC本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造,包括PECVD废气处理装置以及制绒、湿法刻蚀废气处理装置,所述PECVD废气处理装置包括:第一吸附箱(11);用于排出PECVD工序产生的废气,且与所述第一吸附箱(11)相连通的第一进气管(12);加水箱(13);用于向所述加水箱(13)内加水,且设置有第一进水阀(141)的第一进水管(14);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输入管(15);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输出管(16);设置于所述第一输入管(15)上的第一循环泵(151);所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置包括:第二吸附箱(21);用于排出制绒、湿法刻蚀废气产生的废气,且与所述第二吸附箱(21)相连通的第二进气管(22);加药箱(23);连通所述加药箱(23)以及所述第二吸附箱(21)的第二输入管(25);连通所述加药箱(23)以及所述第二吸附箱(21)的第二输出管(26);设置于所述第二输入管(25)上的第二循环泵(251),其特征在于,还包括:氨水存储罐(31);用于排放所述PECVD废气处理装置产生的氨水的氨水回收管(32),且所述氨水回收管(32)与所述氨水存储罐(31)相连通,所述氨气回收管(32)上设置有回收阀门(321);连通所述加药箱(23)与所述氨水存储罐(31),且用于向所述加药箱(23)内加放氨水的加药管(33),所述加药管(33)上设置有加药阀门(331);用于排放所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置产生的废水的废水外排管(34),所述废水外排管(34)上设置有排水阀门。...
【技术特征摘要】
1.一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造,包括PECVD废气处理装置以及制绒、湿法刻蚀废气处理装置,所述PECVD废气处理装置包括第一吸附箱(11);用于排出PECVD工序产生的废气,且与所述第一吸附箱(11)相连通的第一进气管(12);加水箱(13);用于向所述加水箱(13)内加水,且设置有第一进水阀(141)的第一进水管(14);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输入管(15);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输出管(16);设置于所述第一输入管(15)上的第一循环泵(151);所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置包括第二吸附箱(21);用于排出制绒、湿法刻蚀废气产生的废气,且与所述第二吸附箱(21)相连通的第二进气管(22);加药箱(23);连通所述加药箱(23)以及所述第二吸附箱(21)的第二输入管(25);连通所述加药箱(23)以及所述第二吸附箱(21)的第二输出管(26);设置于所述第二输入管(25)上的第二循环泵(251),其特征在于,还包括氨水存储罐(31);用于排放所述PECVD废气处理装置产生的氨水的氨水回收管(32),且所述氨水回收管 (32)与所述氨水存储罐(31)相连通,所述氨气回收管(32)上设置有回收阀门(321);连通所述加药箱(23)与所述氨水存储罐(31),且用于向所述加药箱(23)内加放氨水的加药管(33),所述加药管(33)上设置有加药阀门(331);用于排放所...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺康,申玉花,乔文欣,佟萌,高金牛,魏文秀,
申请(专利权)人:天津英利新能源有限公司,
类型:发明
国别省市:
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