一种外排氨水回用系统技术方案

技术编号:8586176 阅读:213 留言:0更新日期:2013-04-17 23:35
本发明专利技术提供了一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造。本发明专利技术提供的外排氨水回用系统,在PECVD废气处理装置与制绒、湿法刻蚀废气处理装置之间加设了一个氨水存储罐,并通过氨气回收管将所述PECVD废气处理装置与所述氨水存储罐相连通,通过加药管将所述氨水存储罐与所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置相连通。以PECVD废气处理装置产生的氨水直接作为制绒、湿法刻蚀废气处理装置的反应药剂,无需再分别单独地为两装置提供相应的反应药剂,大大减少了太阳能电池制造中,处理PECVD工序、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气时所需的药剂用量,使得处理成本明显降低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池制造
,尤其涉及一种外排氨水回用系统
技术介绍
光伏发电是根据光生伏特效应原理,利用太阳能电池板将光能直接转化为电能的一种无污染发电方式。不论是独立使用还是并网发电,光伏发电系统主要由太阳电池板(组件)、控制器和逆变器三大部分组成,它们主要由电子元器件构成,不涉及机械部件,所以,光伏发电设备结构简洁、使用寿命长、安装维护简便。太阳能电池板是太阳能发电系统中的核心部分,也是太阳能发电系统中价值最高的部分,其作用是将太阳的辐射能力转换为电能,或送往蓄电池中存储起来,或推动负载工作。太阳能电池板在使用时几乎不会对环境造成污染,十分环保。但是,在太阳能电池板制造过程中的许多工序会产生废气,这些废气或呈碱性或呈酸性,如直接排放至空气中会对空气质量以及周边环境造成危害。目前,太阳能电池制造行业对于PECVD工序(PECVD全称为Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition,即等离子体增强化学气相沉积法。是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体的方法。)、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气,一般都是采用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造,包括PECVD废气处理装置以及制绒、湿法刻蚀废气处理装置,所述PECVD废气处理装置包括:第一吸附箱(11);用于排出PECVD工序产生的废气,且与所述第一吸附箱(11)相连通的第一进气管(12);加水箱(13);用于向所述加水箱(13)内加水,且设置有第一进水阀(141)的第一进水管(14);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输入管(15);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输出管(16);设置于所述第一输入管(15)上的第一循环泵(151);所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置包括:第二吸附箱(21);用于排出...

【技术特征摘要】
1.一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造,包括PECVD废气处理装置以及制绒、湿法刻蚀废气处理装置,所述PECVD废气处理装置包括第一吸附箱(11);用于排出PECVD工序产生的废气,且与所述第一吸附箱(11)相连通的第一进气管(12);加水箱(13);用于向所述加水箱(13)内加水,且设置有第一进水阀(141)的第一进水管(14);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输入管(15);连通所述加水箱(13)以及所述第一吸附箱(11)的第一输出管(16);设置于所述第一输入管(15)上的第一循环泵(151);所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置包括第二吸附箱(21);用于排出制绒、湿法刻蚀废气产生的废气,且与所述第二吸附箱(21)相连通的第二进气管(22);加药箱(23);连通所述加药箱(23)以及所述第二吸附箱(21)的第二输入管(25);连通所述加药箱(23)以及所述第二吸附箱(21)的第二输出管(26);设置于所述第二输入管(25)上的第二循环泵(251),其特征在于,还包括氨水存储罐(31);用于排放所述PECVD废气处理装置产生的氨水的氨水回收管(32),且所述氨水回收管 (32)与所述氨水存储罐(31)相连通,所述氨气回收管(32)上设置有回收阀门(321);连通所述加药箱(23)与所述氨水存储罐(31),且用于向所述加药箱(23)内加放氨水的加药管(33),所述加药管(33)上设置有加药阀门(331);用于排放所...

【专利技术属性】
技术研发人员:贺康申玉花乔文欣佟萌高金牛魏文秀
申请(专利权)人:天津英利新能源有限公司
类型:发明
国别省市:

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