下载一种外排氨水回用系统的技术资料

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本发明提供了一种外排氨水回用系统,用于太阳能电池板的制造。本发明提供的外排氨水回用系统,在PECVD废气处理装置与制绒、湿法刻蚀废气处理装置之间加设了一个氨水存储罐,并通过氨气回收管将所述PECVD废气处理装置与所述氨水存储罐相连通,通过加...
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