硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件，包括发射部分、接收部分、光多次弹射Zig-Zag部分，发射部分的硅衬底凸起、接收部分的硅衬底凸起分别与Zig-Zag部分的硅衬底凹进相匹配并通过拼装定位并用胶固定，发射部分通过固定在硅衬底V型槽的光纤与外部光网络系统连通，外部光网络系统通过固定在硅衬底V型槽的光纤与接收部分连通。本实用新型专利技术采用标准硅工艺设备分别制作发射部分、接收部分和Zig-Zag部分，通过拼图拼接方式将多个硅衬底连接固结，并且通过硅衬底凸起和凹进的尺寸，可以控制Zig-Zag部分的光程。相对于业界目前实现的多波长单端口发射和接收光器件，本实用新型专利技术方法具有插入损耗更小、结构更加紧凑等优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件
本技术涉及光通信器件、光子集成和光网络，基于高集成度的硅光子集成技术，实现高速、集成化、低功耗的硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件。技术背景由于来自云计算、移动互联网视频、数据中心、高清电视、视频点播和移动宽带业务等的快速发展，如何满足持续增长的业务流量成为了近年来网络发展的主流方向，直接导致了全球光网络行业向着大容量、高度集成化和低功耗的方向发展。为了应对大容量网络的带宽要求，高速率的传输技术成为解决问题的重点，其中包括目前热门的通过波分复用实现的40G (4X10G)和100G (10X10G或4X25G)等技术采用多个粗波分(CWDM)波长通道或多个密集波分(DWDM)波长通道，每个通道承载不同信息，然后复用这些具有不同波长的光信号在同一根光纤上传输，实现大容量的信息传输，例如NXlOG (其中IOG作为基本传输速率)。因此，如何实现多波长单端口发射(例如NX10G)和接收(例如NX10G)的光器件是目前业界遇到的主要技术问题。光子集成技术，类似于当前成熟的大规模集成电路技术，其优点是低成本、小尺寸、低功耗、灵活扩展和高可本文档来自技高网...

【技术保护点】
硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件，包括发射部分、接收部分、光多次弹射Zig?Zag部分，其特征在于：发射部分的硅衬底凸起、接收部分的硅衬底凸起分别与Zig?Zag部分的硅衬底凹进相匹配并通过拼装定位并用胶固定，发射部分通过固定在硅衬底V型槽的光纤与外部光网络系统连通，外部光网络系统通过固定在硅衬底V型槽的光纤与接收部分连通。

【技术特征摘要】
1.娃光子集成多波长单端口发射和接收光器件，包括发射部分、接收部分、光多次弹射Zig-Zag部分，其特征在于发射部分的硅衬底凸起、接收部分的硅衬底凸起分别与 Zig-Zag部分的娃衬底凹进相匹配并通过拼装定位并用胶固定,发射部分通过固定在娃衬底V型槽的光纤与外部光网络系统连通，外部光网络系统通过固定在硅衬底V型槽的光纤与接收部分连通。2.根据权利要求1所述的硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件，其特征在于 所述的发射部分，包括硅衬底、N个不同波长的激光芯片、N+1个硅光波导、N个波分复用WDM 滤波器、N个反射镜、光纤，N为不等于I的自然数，所有激光芯片、所有硅光波导、所有波分复用WDM滤波器分别集成在同一硅衬底上，每个波分复用WDM滤波器对应一个反射镜，每个激光芯片输出端通过一个硅光波导与一个波分复用WDM滤波器相连，每个波分复用WDM滤波器输出的光和反射的光入射到与其对应的反射镜上，N个反射镜采用镀膜方式对应地制作在Zig-Zag部分的硅衬底侧面或者直接将N个反射镜对应地粘结在Zig-Zag部分的硅衬底侧面，且每个波分复用WDM滤波器只允许对应波长的光通过，并全部反射其余波长的光， 通过最后一个反射镜的多波长复用光被反射进入另一个硅光波导，通过另一个硅光波导导入固定在硅衬底V型槽的光纤内与外部光网络系统连通。3.根据权利要求2所述的硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件，其特征在于 所述的N个反射镜制作成整体，通过镀膜方式对应地制作在Zig-Zag部分的硅衬底侧面。4.根据权利要求1所述的硅光子集成多波长单端口发射和接收光器件，其特征在于 所述的发射部分，包括娃衬底、N个不同波长的激光芯片、N个娃光波...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡朝阳，余焘，石章如，
申请(专利权)人：胡朝阳，余焘，石章如，
类型：实用新型
国别省市：