基板托架及基板检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种基板托架及基板检测装置，涉及机械领域，可保证基板被每一个基板托架所支撑，可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。该基板托架包括：托架本体，托架本体包括固定部、连接部和延伸部，固定部具有第一通孔，通过第一通孔及螺钉将托架本体固定于基板检测装置上，固定部位于连接部的一侧，与连接部垂直；延伸部位于连接部的另一侧，向与固定部所在之处相反的方向延伸，与连接部垂直，并且延伸部具有腰形通孔；滑动部件，滑动部件为平板状结构，滑动部件具有第二通孔，滑动部件与托架本体的延伸部通过依次穿过第二通孔、托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

基板托架及基板检测装置
本技术涉及机械领域，尤其涉及一种基板托架及基板检测装置。
技术介绍
通常，在基板制成后，需要利用宏观微观检测仪等基板检测装置对基板进行宏观 结构和微观结构的检测，以判断该基板是否为合格产品。在利用基板检测装置对基板进行 检测之前，需要将基板放置于基板检测装置上的所预定的恰当位置上，一般无法将基板直 接放置在该位置上，此时需要借助基板检测装置上的对位校正装置的帮助，通过对位校正 装置对基板的位置进行调整，使得基板位于所预定的恰当位置上。专利技术人在实现本专利技术的过程中发现，基板检测装置上设置有多个基板托架，基板 直接放置在各基板托架上，若放置基板时，基板未能够被某一基板托架所支撑，此时基板未 被支撑的部分可能会发生向下形变，则对位校正装置对基板的位置进行调整时，会将基板 向该未支撑基板的基板托架一侧推，则基板发生向下形变的部分可能会受到基板托架的顶 阻而损坏。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种基板托架及基板检测装置，可保证 基板被每一个基板托架所支撑，可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性，间 接地增大对位校正装置的修正能力。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案一种基板托架，包括托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固 定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所 述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一 侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰 形通孔；滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部 件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通 孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。所述基板托架还包括用于支撑基板的支撑部件，所述支撑部件设置于所述滑动部件上。所述支撑部件具有螺纹，所述滑动部件具有第一螺孔，所述支撑部件的螺纹与所 述滑动部件的第一螺孔相配合。所述滑动部件具有用于与具有螺纹的固定装置配合紧固所述支撑部件的第二螺 孔。所述支撑部件设置于所述滑动部件上，所述支撑部件内设置有部分突出的滚珠，所述滚珠的突出部分与基板接触。所述第一通孔为腰形通孔。一种基板检测装置，包括上述基板托架。在本技术实施例的技术方案中，提供了一种基板托架，该基板托架具有托架本体和滑动部件，托架本体具有向基板检测装置中心延伸的延伸部，使得基板可以尽可能的通过一次放置就可放置在每一个托架本体的延伸部上，降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性。进一步的，滑动部件可相对于托架本体移动，当托架本体的延伸部的长度不够时，可通过调节滑动部件与所述延伸部的相对位置调节托架本体向基板检测装置中心延伸的长度，保证了基板可放置在每一个托架本体上，进一步降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例中的基板托架的结构示意图一；图2为本技术实施例中的基板托架的结构示意图二 ；图3为本技术实施例中的基板托架的结构示意图三。附图标记说明I一托架主体； 11—固定部； 111一第一通孔；12—连接部；13—延伸部；131—腰形通孔； 2—滑动部件；21—第二通孔； 22—第一螺孔23—第二螺孔； 3—支撑部件；31—滚珠。具体实施方式实施例一本技术实施例提供一种基板托架 ，如图1所示，该基板托架包括托架本体1，所述托架本体I包括均为平板状结构的固定部11、连接部12和延伸部13，所述固定部11具有第一通孔111，通过所述第一通孔111及螺钉将所述托架本体I固定于基板检测装置上，所述固定部11位于所述连接部12的一侧，与所述连接部12垂直；所述延伸部13位于所述连接部12的另一侧，向与所述固定部11所在之处相反的方向延伸， 与所述连接部13垂直，并且所述延伸部13具有腰形通孔131 ；所述托架本体I的延伸部13向与所述固定部11所在之处相反的方向延伸，即延伸部13向基板检测装置的中心延伸，使得基板可以尽可能的通过一次放置就可放置在每一个托架本体I的延伸部13上，降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性。进一步的，由于通常检测基板是利用各种光学原理进行检测，故而，为了防止用于支撑基板的延伸部13遮挡太多的光线，延伸部13的宽度较小，通常仅为几个毫米，减小了所遮挡的区域，进而减少了对基板检测结果的干扰。更进一步的,所述托架本体I的固定部11与连接部12垂直、连接部12与延伸部 13垂直，该结构有利于托架本体I的安装、调整。虽然，所述托架本体I具有向基板检测装置的中心延伸的延伸部13，但当放置基 板时将基板的位置放得过于偏斜，使得某一托架本体I的延伸部13的长度不足以支撑甚至 接触到基板，为了减小这一情况出现的可能性，如图1所示，所述基板托架还包括滑动部件2，所述滑动部件2为平板状结构，所述滑动部件2具有第二通孔21，所 述滑动部件2与所述托架本体I的延伸部13通过依次穿过所述第二通孔21、所述托架本体 I的延伸部13的腰形通孔131的螺钉相配合，以使得所述滑动部件2可相对于所述托架本 体I移动。基板直接搭放在滑动部件2的平面上，由于滑动部件2可相对于所述托架本体I 移动，使得基板托架上用于支撑所述基板的部分的长度可变，进一步减小了基板无法被各 基板托架支撑的可能性，另外，若所要检测的基板的规格发生变化时，通过调整滑动部件2 与相对于所述延伸部13的位置，使得该基板托架可以顺利支撑起各个规格的基板，拓宽了 该基板托架的适用范围。需要说明的是，基板托架的延伸部13与滑动部件2的相对位置可在利用基板检测 装置检测基板前调整好，也可在检测基板的过程中进行相应的调整操作。在本实施例的技术方案中，提供了一种基板托架，该基板托架具有托架本体和滑 动部件，托架本体具有向基板检测装置中心延伸的延伸部，使得基板可以尽可能的通过一 次放置就可放置在每一个托架本体的延伸部上，降低了对位校正装置调节基板位置时损坏 基板的可能性。进一步的，滑动部件可相对于托架本体移动，当托架本体的延伸部的长度不 够时，可通过调节滑动部件与所述延伸部的相对位置调节托架本体向基板检测装置中心延 伸的长度，保证了基板可放置在每一个托架本体上，进一步降低了对位校正装置调节基板 位置时损坏基板的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。实施例二在实施例一的基础上，如图2所示，本技术实施例所提供的基板托架还包括用于支撑基板的支撑部件3，所述支撑部件3具有螺纹。为了与所述支撑部件3相配合，进一步的，所述滑动部件2具有第一螺孔22，所述 支撑部件3的螺纹与所述滑动部件2的第一螺孔22相配合。在滑动部件2上设置支撑部件3，使得基板托架的整体的高度可调，当基板由于放 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板托架，其特征在于，包括：托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔；滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。

【技术特征摘要】
1.一种基板托架，其特征在于，包括 托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔； 滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。2.根据权利要求1所述的基板托架，其特征在于，还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王德永，程贯杰，陈健，朴祥秀，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：