【技术实现步骤摘要】
基板托架及基板检测装置
本技术涉及机械领域，尤其涉及一种基板托架及基板检测装置。
技术介绍
通常，在基板制成后，需要利用宏观微观检测仪等基板检测装置对基板进行宏观 结构和微观结构的检测，以判断该基板是否为合格产品。在利用基板检测装置对基板进行 检测之前，需要将基板放置于基板检测装置上的所预定的恰当位置上，一般无法将基板直 接放置在该位置上，此时需要借助基板检测装置上的对位校正装置的帮助，通过对位校正 装置对基板的位置进行调整，使得基板位于所预定的恰当位置上。专利技术人在实现本专利技术的过程中发现，基板检测装置上设置有多个基板托架，基板 直接放置在各基板托架上，若放置基板时，基板未能够被某一基板托架所支撑，此时基板未 被支撑的部分可能会发生向下形变，则对位校正装置对基板的位置进行调整时，会将基板 向该未支撑基板的基板托架一侧推，则基板发生向下形变的部分可能会受到基板托架的顶 阻而损坏。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种基板托架及基板检测装置，可保证 基板被每一个基板托架所支撑，可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性，间 接地增大对位校正装置...
【技术保护点】
一种基板托架，其特征在于，包括：托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔；滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。
【技术特征摘要】
1.一种基板托架，其特征在于，包括 托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔； 滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。2.根据权利要求1所述的基板托架，其特征在于，还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：王德永，程贯杰，陈健，朴祥秀，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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