下载基板托架及基板检测装置的技术资料

文档序号:8578200

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本实用新型实施例公开了一种基板托架及基板检测装置,涉及机械领域,可保证基板被每一个基板托架所支撑,可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性,间接地增大对位校正装置的修正能力。该基板托架包括:托架本体,托架本体包括固定部、连接部和延伸部...
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