【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微结构材料检测领域，特别是涉及一种。
技术介绍
目前来讲，由于疲劳或者残余应力改变微结构材料的杨氏模量，引起器件的谐振频率变化。故对于微结构材料的频率特性的测试，通常采用频率扫描的方法。但微结构材料的谐振频率、品质因数可能会很高，如果采用频率扫描的方法进行测试，就要求以很小的频率扫描步进、较宽的频率扫描范围对加速度计进行稳态扫描。从测量精度上讲，频率扫描步长越小、稳态时间越长，测量精度就越高；而从测量效率上讲，则恰恰相反，因而这种方法很难同时满足测量精度和测量效率两方面的要求。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有技术缺陷问题，提供一种测量精度高、测量效率高的。其技术方案如下。一种，包括以下步骤，保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压；选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下达到平衡后，监控测量移动电极在平面内的运动位移。进一步地，还包括以下步骤，在微结构材料经受振动、冲击或进行循环运动后，监控测量移动电极在平面内的运动位移；重复上述步骤，比较移动电极在平面内的运动位移可获得微结构材料的疲劳状态或残余应力的变化信息。进一步地，闭合电压的测量步骤如下，在移动电极与固定电极之间进行电压扫描，同时检测移动电极与固定电极之间的电流，当电流出现剧烈增加时，则对应的电压为闭合电压。进一步地，闭合电压为Vp
【技术保护点】
一种微结构材料机械性能退化检测方法，其特征在于，包括以下步骤，保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压；选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下达到平衡后，监控测量移动电极在平面内的运动位移。
【技术特征摘要】
1.一种微结构材料机械性能退化检测方法，其特征在于，包括以下步骤， 保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压； 选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下达到平衡后，监控测量移动电极在平面内的运动位移。2.根据权利要求1所述的微结构材料机械性能退化检测方法，其特征在于，还包括以下步骤， 在微结构材料经受振动、冲击或进行循环运动后，监控测量移动电极在平面内的运动位移； 重复上述步骤，比较移动电极在平面内的运动位移可获得微结构材料的疲劳...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄钦文，
申请(专利权)人：工业和信息化部电子第五研究所，
类型：发明
国别省市：
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