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本发明公开了一种微结构材料机械性能退化检测方法，包括以下步骤，保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压；选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下...
该专利属于工业和信息化部电子第五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过工业和信息化部电子第五研究所授权不得商用。

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