【技术实现步骤摘要】
用于污染物的除去的等离子体反应器专利技术背景(a)专利
本专利技术涉及用于除去污染物的等离子体反应器，且更具体地，涉及用于除去在被安装在半导体/薄膜显示器/太阳能电池的生产线中的处理室中产生的污染物的等离子体反应器。(b)相关技术的描述用于进行工艺比如蚀刻、沉积、清洁、灰化和氮化处理的处理室被安装在半导体/薄膜显示器/太阳能电池的生产线中。处理室被连接到真空泵，以抽出生产气体。由于半导体/薄膜显示器/太阳能电池的制造工业的最近增长，在处理室中产生的污染物的量和类型日益增加。在它们中，用于干法蚀刻的CF4、CHF3和SF6及用于洗涤工艺的基于氟的气体比如NF3是温室气体的种类。因此，预期，将会有这些气体排出物的限制条件。同时，随着时间流逝，将在蚀刻/沉积/清洁工艺中放出的颗粒材料积累在真空泵中的部件上，且真空泵的耐用性和寿命降低。因此，等离子体反应器被安装在处理室和真空泵之间，以除去从处理室放出的污染物。典型的等离子体反应器采用射频(RF)和电感耦合等离子体。电感耦合等离子体反应器具有在等离子体产生空间外部的线圈状驱动电极，且通过将电压应用到驱动电极的两端来产生...
【技术保护点】
一种用于污染物的除去的等离子体反应器，所述等离子体反应器被安置在处理室和真空泵之间，且产生低压等离子体以除去从处理室放出的污染物，所述等离子体反应器包括：至少一个介电体，在所述介电体中形成有等离子体产生空间；接地电极，其被连接到所述介电体的至少一端；及至少一个驱动电极，其被固定到所述介电体的外周表面，且被连接到AC电源单元以接收AC驱动电压，其中所述接地电极具有沿着所述等离子体反应器的纵向方向的非均一直径。
【技术特征摘要】
2011.10.10 KR 10-2011-0103085;2012.03.26 KR 10-201.一种用于污染物的除去的等离子体反应器，所述等离子体反应器被安置在处理室和真空泵之间，且产生低压等离子体以除去从处理室放出的污染物，所述等离子体反应器包括 至少一个介电体，在所述介电体中形成有等离子体产生空间； 接地电极，其被连接到所述介电体的至少一端；及 至少一个驱动电极，其被固定到所述介电体的外周表面，且被连接到AC电源单元以接收AC驱动电压， 其中所述接地电极具有沿着所述等离子体反应器的纵向方向的非均一直径。2.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中所述介电体被布置在所述等离子体反应器的中心，且 所述接地电极包括 第一接地电极，其被连接到所述介电体的前端；及 第二接地电极，其被连接到所述介电体的朝着所述真空泵的后端。3.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极为用于连接所述处理室和所述介电体的连接管，且 所述第二接地电极为用于连接所述介电体和所述真空泵的连接管。4.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极包括 均一直径部分，其具有比所述介电体小的直径 '及 可变直径部分，其直径沿着污染物的流动方向逐渐增大且所述可变直径部分被固定到所述介电体的前端。5.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第二接地电极包括 可变直径部分，其被固定到所述介电体的后端且所述可变直径部分的直径沿着污染物的流动方向逐渐减小；及 均一直径部分，其具有比所述介电体小的直径。6.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极被固定到所述介电体的前端且具有与所述介电体相同的直径，且 所述第二接地电极包括 可变直径部分，其被固定到所述介电体的后端且所述可变直径部分的直径沿着污染物的流动方向逐渐减小；及 均一直径部分，其被连接至所述可变直径部分且具有比所述介电体小的直径。7.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一接地电极被固定到所述介电体的前端且具有与所述介电体相同的直径，且 所述第二接地电极包括 大直径部分，其被固定到所述介电体的后端且具有与所述介电体相同的直径；及 小直径部分，其被连接到所述大直径部分且具有比所述大直径部分小的直径。8.如权利要求1至权利要求7中任一项所述的等离子体反应器，其中在所述驱动电极与所述第一接地电极之间的第一距离被设定为大于在所述驱动电极与所述第二接地电极之间的第二距离。9.如权利要求2至权利要求8中任一项所述的等离子体反应器，其中所述驱动电极以环形形状或圆柱形形状布置在所述介电体的外周表面上，且 所述驱动电极被安置在沿着所述等离子体反应器的纵向方向距所述第一接地电极和所述第二接地电极一定距离处。10.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：许民，李载玉，姜宇石，李大勋，金冠泰，宋永焄，
申请(专利权)人：韩国机械研究院，
类型：发明
国别省市：
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