【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种能量束扫描,并且尤其涉及对于可应用到加工操作的激光束特性进行优化。
技术介绍
能量束例如激光束等在各种不同类型的加工操作中广泛使用,包括通常所称的微加工操作。在传统的微加工操作中,使用激光束在基底上加工部件,例如印刷电路板和面板。一种典型的微加工操作包括对基底上印制的电阻和电容进行激光切割。图1显示了用于电阻切割类型的传统激光束微加工系统10。系统10包括在系统控制器55的控制下工作的激光束发射器15。发射的激光束20穿过固定的波束放大器25到达扫描子系统30。如图所示,扫描子系统30包括波束导引光学器件35和聚焦透镜40。扫描子系统30也在系统控制器55的控制下工作。波束20由波束导引光学器件35导引通过聚焦透镜40。波束导引光学器件35包括一对电流驱动反射镜(galvo driven mirrors)。聚焦透镜40具有一定视场并且对波束20进行聚焦从而波束20冲击基底50上的电阻45上的点22,由此进行切割操作。X-Y平台在两个轴的方向上移动基底50,从而将电阻定位在透镜40的视场下。导引波束的焦点22冲击基底50,从而执行切割操作。固定 ...
【技术保护点】
一种灵活优化的材料加工系统,包括:激光发射器,配置为发射激光波束;波束调节光学器件,具有一定的波束放大率,并且配置为通过调节波束放大率而调节所发射的激光波束;波束导引光学器件,配置为提供与调节后的激光波束相对应的可变 有效瞳孔,所述波束导引光学器件进一步配置为将调节后的波束导引到扫描场内的一个或多个目标;透镜,具有至少包含所述扫描场的视场,配置为将导引的激光波束聚焦到所述扫描场内的一个或多个目标上;以及 控制处理器,配置为接收与材料加工参 数相对应的输入,并且基于至少一个所述材料加工参数而发出至少一个优化控制信号。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:AT基泰,JS埃尔曼,
申请(专利权)人:通明国际科技公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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