激光加工装置制造方法及图纸

一种激光加工装置，其从多个激光照射轴，经由与各激光照射轴对应的ｆθ透镜，同时照射多个激光束，同时对载置于１个加工台上的多个工件进行激光加工，其特征在于，具有：　　　　偏差值计算部，其对于每个工件，检测前述各工件相对于前述加工台的位置偏差，计算每个工件相对于前述加工台的位置偏差值；　　　　加工方法选择部，其根据前述偏差值计算部计算出的位置偏差值，从预先设定的多种加工方法中选择与前述位置偏差值对应的工件的加工方法；　　　　校正值设定部，其根据前述加工方法选择部选择出的加工方法，设定对前述各工件的位置偏差进行校正的前述加工台的移动量的校正值；以及　　　　加工控制部，其在利用由前述加工方法选择部选择出的加工方法，使用由前述校正值设定部设定的校正值，加工前述加工台上的多个工件时，进行加工控制，　　　　前述加工方法选择部，在前述加工台上的某个工件处于可以经由前述ｆθ透镜进行激光加工的区域之外、且前述加工台上的各工件间的位置偏差值的差小于规定值的情况下，从前述多种加工方法中选择同时加工方法，该同时加工方法是向前述加工台上的所有工件同时照射前述激光束，对前述加工台上的所有工件进行同时加工，　　　　前述校正值设定部，在前述加工方法选择部选择了前述同时加工方法的情况下，设定前述校正值，以使得前述加工台上的所有工件，进入可以经由与各工件对应的ｆθ透镜同时进行激光加工的区域内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对加工台上的多个工件进行激光加工的激光加工装置。
技术介绍
近年来，为了高精度且快速地对工件进行激光加工，开发了多 种激光加工装置。作为这种激光加工装置，有例如设置多个加工头， 同时加工多个工件(被加工物)的激光加工装置。在由多个加工头同 时加工多个工件的情况下，通过检测各工件的位置相对于加工台的偏差量，由fe透镜对检测出的位置偏差量进行校正，高精度地加工各 工件。专利文献i中记载的加工装置，其利用安装在各加工头上的检 测单元检测各被加工物的位置，根据检测到的数据，使加工台移动到 每个加工头的位置偏差大致相同的位置上，由此高精度地同时加工多 个被加工物。另外，专利文献2中记载的激光加工装置，其具有将来自i个 激光振荡器的激光分为多束的激光束分割单元，从激光束分割单元到 各被加工物之间，分别对各激光束设置激光束遮挡机构，以遮挡激光 束。而且，独立控制对载置于各加工轴上的各被加工物的激光束的照 射、不照射。专利文献1:特开2002-361463号公报 专利文献2:特开2003-112275号公报
技术实现思路
但是，上述前者的现有技术中，在要加工多个工件的情况下， 即使多个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：金田充弘，管原雅之，杉村好司，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：