电蚀机中可控抽回埋头电极的方法技术

本发明专利技术提供了一种在发生短路时可控的抽回移动埋头电极的方法，埋头电极在短路出现时，最初沿着从短路点至中间点的以前覆盖的路径，往回移过一段预定距离，如果在到达中间点时短路仍然存在，埋头电极就移离中间点，抽回路径的第一部分是由大小和方向以固定方式限定的空间向量所确定的，如果短路仍存在于向量顶的话，埋头电极的进一步移动（抽回路径的第二部分）是平行于被腐蚀路径，且沿着由腐蚀过程中被腐蚀路径上的电极所描绘出的反方向而转移的。（*该技术在2009年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种控抽回电腐蚀机中埋头电极的方法，其中抽回电极在发生短路的情况下，沿着从短路点至中间点的以前复盖的路径，最初往回移过一段预定距离，如果在到达中间点时短路仍然存在的话，其中的埋头电极就按已定的抽回路径移离该中间点，其特征在于：抽回路径的第一部分（２）是由大小和方向固定不变的空间向量所确定的，如果短路仍然存在于向量顶端的话，埋头电极（Ｓ）的进一步的移动（抽回路径的第二部分（３））就会发生，它平行于被腐蚀路径（１），且以腐蚀过程中由电极（Ｓ）所描绘的反方向而移动（反平行移动）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：汉斯彼得格鲁伯，兰佐迪马利亚，法布里齐奥罗比亚尼，埃德温斯图茨，
申请(专利权)人：洛迦诺电子工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]