【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气体处理
，尤其涉及一种用于UV曝光机的冷却气体处理装置。
技术介绍
UV曝光机是指通过开启灯管发出UVA波长的紫外线，将胶片或其它透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备，目前已广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米材料等科技领域。UV曝光机在使用过程中，由于其UV灯管持续发光发热，因而需要对UV灯管进行冷却，以防灯管过热导致灯管损坏或发生爆炸现象。目前现有技术对UV曝光机灯管所采用的冷却方式通常为气冷，即通过输入冷却压缩气体对灯管进行冷却。而曝光机中的UV灯管，对于输入的冷却压缩气体有着极高的要求，即不能含有水分和油污，否则对灯管可能造成较大的损害。为此，目前现有技术对用于冷却UV曝光机灯管的压缩气体，一般采用过滤器对气体进行过滤以除去油污等杂质，并采用以氧化铝颗粒作为干燥剂的干燥器进行干燥以除去水分，然后再进入UV曝光机内部。然而，干燥剂使用一段时间后氧化铝颗粒会失去效力，而上述方式无法及时有效地监控到干燥器中的干燥剂氧化铝颗粒是否已经失效，因而不能有效控制输入UV曝光机中的冷却压缩气体的品质，从而无法有效保障UV曝光机的使用效果及安全。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可对冷却气体水分去除情况进行有效监控的UV曝光机冷却气体处理装置，以有效控制输入UV曝光机冷却气体的品质，从而保证UV曝光机的使用效果及安全。本技术的目的通过以下技术方案予以实现本技术提供的一种UV曝光机冷却气体处理装置，包括过滤器、干燥器；所述干燥器的出口端连接有水分指示器。本技术冷却气体经过干燥器干燥处理后进入水分指示器，可以通过观...
【技术保护点】
一种UV曝光机冷却气体处理装置，包括过滤器(2)、干燥器(3)；其特征在于：所述干燥器(3)的出口端连接有水分指示器(4)。
【技术特征摘要】
1.一种UV曝光机冷却气体处理装置，包括过滤器(2)、干燥器(3);其特征在于所述干燥器(3)的出口端连接有水分指示器(4)。2.根据权利要求1所述的UV曝光机冷却气体处理装置，其特征在于所述过滤器(2) 连接在干燥器(3)的进口端；所述水分指示器(4)的出口端(4b)与UV曝光机(5)连接。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭庆秋，杨明雄，周婵华，徐斌，徐晶，
申请(专利权)人：长兴广州光电材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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