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本实用新型公开了一种UV曝光机冷却气体处理装置,包括过滤器、干燥器;所述干燥器的出口端连接有水分指示器。本实用新型可有效监控并及时判断干燥器对气体水分的处理效果,因而能够有效控制输入UV曝光机中的冷却压缩气体的品质,从而有效保障UV曝光机的...该专利属于长兴(广州)光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长兴(广州)光电材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种UV曝光机冷却气体处理装置,包括过滤器、干燥器;所述干燥器的出口端连接有水分指示器。本实用新型可有效监控并及时判断干燥器对气体水分的处理效果,因而能够有效控制输入UV曝光机中的冷却压缩气体的品质,从而有效保障UV曝光机的...