【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于加热器，具体涉及一种可快速升降温的高功率加热器。
技术介绍
在用金属有机化学气相沉积设备(MOCVD)制备半导体薄膜材料时，所发生的化学反应都是在特定的温度环境下，且各层温度相差较大，温度均匀性直接影响薄膜的品质，升降温速率影响生产周期，使用寿命影响到设备使用成本。所以工业生产中采用MOCVD制备半导体薄膜材料对加热器的温度均匀性、升降温速率和使用寿命都有很高的要求。现有的用于MOCVD的高功率加热器包括炉体、设在炉体上的PBN陶瓷绝缘板和位于PBN陶瓷绝缘板上面的发热丝，其采用支架支撑在PBN陶瓷绝缘板上，这种PBN陶瓷绝缘板材料十分昂贵也很容易损坏,生产成本较高,使用寿命较短。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可快速升降温的高功率加热器，以满足MOCVD制备半导体薄膜材料对加热器的温度均匀性、升降温速率和使用寿命的要求，并有效降低成本和能耗。实现本专利技术目的采用的技术方案如下 本专利技术提供的可快速升降温的高功率加热器，包括炉体、设在炉体上的一层或多层金属反射板和位于金属反射板上面的发热丝。所述炉体包括上下设置的负电极板和正电极板，所述...
【技术保护点】
一种可快速升降温的高功率加热器，包括炉体，其特征是还包括设在炉体上的一层或多层金属反射板和位于金属反射板上面的发热丝。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒲勇，
申请(专利权)人：长沙市博垒德电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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