光学元件轴向调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调与像差补偿领域，本装置包括镜框、镜筒、弓形弹片和三个驱动器，光学元件与镜框之间通过胶粘的方式组成镜框组件，镜筒和镜框组件通过弓形弹片连接，三个驱动器前进或后退时，能够推动弓形弹片的内环产生轴向位移，由于弓形弹片的内外环通过一圈很薄的弹片连接，能够保证弓形弹片的内环轴向运动时其位移量沿周向均匀，同时能够约束轴向运动引入的偏心和倾斜误差，从而保证轴向位移量均匀地作用在镜框组件上，最终实现光学元件的轴向运动。
【技术实现步骤摘要】
光学元件轴向调整装置
本专利技术属于深紫外投影光刻物镜装调与像差补偿领域，涉及一种可用于光刻投影物镜系统中光学元件轴向微动调整的装置。
技术介绍
投影光刻装备是大规模集成电路制造工艺中的关键设备，近年来随着集成电路线宽精细程度的不断提高，投影光学装备的分辨率亦逐渐提高，目前波长193. 368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备已成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。投影光刻物镜的装配过程中，为获得良好的光学性能需要对光学系统的各种像差进行补偿，从而相应地需要对某些敏感光学元件的轴向位置进行调整补偿。同时投影光刻物镜在使用过程中，由于物镜内部的环境改变、加工产品的变化等情况，也需要相应地调整物镜内部的某些敏感光学元件的轴向位置。
技术实现思路
本专利技术为解决光刻投影物镜光学元件高精度轴向调整问题，提出一种基于弓形弹片的光学元件微动调整装置，尤其适用于深紫外投影物镜中光学元件的微动调整。光学元件轴向调整装置，包括镜框、镜筒、弓形弹片和三个压电驱动器；其特征在于，所述光学元件与镜框之间通过胶粘的方式组成镜框组件，所述镜筒和镜框组件通过弓形弹片连接。所述弓形弹片截面为中间薄、两端厚的弓字形状，弓形弹片的内侧通过一圈螺钉与镜框连接，弓形弹片的外侧通过一圈螺钉与镜筒连接。所述驱动器能够提供轴向方向的前进运动和后退运动，可采用压电式、磁滞伸缩式和气动式的驱动方式。三个驱动器沿周向间隔120°均匀分布，与镜筒之间通过螺钉进行固定。附图说明图I为本专利技术所述的光学元件轴向调整装置俯视图。图2为本专利技术所述的光学元件轴向调整装置仰视图。图3为本专利技术所述的光学元件轴向调整装置剖视图。图4为本专利技术所述的镜框组件。图5为本专利技术所述的弓形弹片结构。图6为本专利技术所述的镜筒结构。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步详细说明。如图I至图6所示，光学元件轴向调整装置，包括镜框1-2、镜筒2、弓形弹片3和三个压电驱动器4 ;光学元件1-1与镜框1-2之间通过胶粘的方式组成镜框组件1，所述镜筒2和镜框组件I通过弓形弹片3连接。所述弓形弹片3截面为中间薄、两端厚的弓字形状，弓形弹片3的内侧通过一圈螺钉与镜框1-2连接，弓形弹片3的外侧通过一圈螺钉与镜筒2连接。所述驱动器4能够提供轴向方向的前进运动和后退运动，驱动器4可采用压电式、 磁滞伸缩式、气动式等驱动方式。所述三个驱动器4沿周向间隔120°均匀分布，与镜筒2 之间通过螺钉进行固定。所述三个驱动器4前进或者后退时，能够推动弓形弹片3的内环产生轴向位移，由于弓形弹片3的内外环通过一圈很薄的弹片连接，能够保证弓形弹片3的内环轴向运动时其位移量沿周向均匀，同时能够约束轴向运动引入的偏心和倾斜误差，从而保证轴向位移量均匀地作用在镜框组件I上，最终实现光学元件1-1的轴向运动。权利要求1.光学元件轴向调整装置，包括镜框(1-2)、镜筒(2)、弓形弹片(3)和三个压电驱动器(4);其特征在于，光学元件(1-1)与镜框(1-2)之间通过胶粘的方式组成镜框组件(I )，所述镜筒(2)和镜框组件(I)通过弓形弹片(3)连接。2.根据权利要求I所述的光学元件轴向调整装置，其特征在于，所述弓形弹片(3)截面为中间薄、两端厚的弓字形状，弓形弹片(3)的内侧通过一圈螺钉与镜框(1-2)连接，弓形弹片(3)的外侧通过一圈螺钉与镜筒(2)连接。3.根据权利要求I所述的光学元件轴向调整装置，其特征在于，所述驱动器(4)能够提供轴向方向的前进运动和后退运动，驱动器(4)可采用压电式、磁滞伸缩式和气动式的驱动方式。4.根据权利要求I所述的光学元件轴向调整装置，其特征在于，所述三个驱动器(4)沿周向间隔120°均匀分布，与镜筒(2)之间通过螺钉进行固定。全文摘要光学元件轴向调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调与像差补偿领域，本装置包括镜框、镜筒、弓形弹片和三个驱动器，光学元件与镜框之间通过胶粘的方式组成镜框组件，镜筒和镜框组件通过弓形弹片连接，三个驱动器前进或后退时，能够推动弓形弹片的内环产生轴向位移，由于弓形弹片的内外环通过一圈很薄的弹片连接，能够保证弓形弹片的内环轴向运动时其位移量沿周向均匀，同时能够约束轴向运动引入的偏心和倾斜误差，从而保证轴向位移量均匀地作用在镜框组件上，最终实现光学元件的轴向运动。文档编号G03F7/20GK102981234SQ20121053592公开日2013年3月20日 申请日期2012年12月12日 优先权日2012年12月12日专利技术者赵磊, 巩岩, 孙振 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所本文档来自技高网...
【技术保护点】
光学元件轴向调整装置，包括镜框（1?2）、镜筒（2）、弓形弹片（3）和三个压电驱动器（4）；其特征在于，光学元件（1?1）与镜框（1?2）之间通过胶粘的方式组成镜框组件（1），所述镜筒（2）和镜框组件（1）通过弓形弹片（3）连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵磊，巩岩，孙振，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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