温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

光学元件轴向调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调与像差补偿领域，本装置包括镜框、镜筒、弓形弹片和三个驱动器，光学元件与镜框之间通过胶粘的方式组成镜框组件，镜筒和镜框组件通过弓形弹片连接，三个驱动器前进或后退时，能够推动弓形弹片的内环产生轴向...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。